低温多晶矽薄膜电晶体的均匀度的统计性研究 - 国立交通大学机构典藏.pdfVIP

低温多晶矽薄膜电晶体的均匀度的统计性研究 - 国立交通大学机构典藏.pdf

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低多晶矽薄膜晶的均度的性研究研究生士哲指教授戴翔博士立交通大光工程系光工程研究所摘要本文主要由的探低多晶矽薄膜晶的均性以及其在用上的影藉由量自不同元件局的元件整元件元件之的距以察著元件距不同元件元件之的特性的性是否之改最特的是我利用一被枕木型的元件局降低程所造成的影以察宏的效且元件的特性著元件之的距增加而改首先我先著重於元件的特性的研究我元件的特性分宏及微由於一般生上在不同片玻璃上所萃取出的元件已包含宏及微我提出一新的元件局以屏除宏造成的影我利用出枕木型的元件排列方式由整元件隔距其性行的差我在相

低溫多晶矽薄膜電晶體的均勻度的 統計性研究 研究生: 黃士哲 指導教授: 戴亞翔博士 國立交通大學 光電工程學系光電工程研究所

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