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特气系统控制 2005年9月20日 ■特气系统控制 ■气柜 组成: 1.电控 2.COMPUTER 3.GAS PANEL 1.电气控制 STATUS LED’S LOCAL SD RED,YELLOY,GREEN SWITCH 2. COMPUTER koyo philips 3.盘面(一) 双盘面 单盘面示意图 一.Semi-Gas全自动气柜更换钢瓶操作步骤: 如果是液态类气体需要输入“净重”确认。 1 接通220V电源，打开“EMO”紧急开关，进入盘面画面。 2 输入password，按确认。 3 L盘面进入“In shutdown”按“commands”菜单。 4 选择“terminate purge”按“Yes”。 5 选择“select purge”按“Cylinder change”，按“Yes”，按“ACK”确认，进入更换钢瓶的过程。 6 L-Cylinder shutoff test，执行process Gas removal置换。 7 更换钢瓶前Pre-purge前吹扫，执行完循环次数。 8 Cylinder change更换钢瓶，按“ACK”确认。 9 Process Gas removal执行工艺气体置换。 10 Auto leak test自动检漏测试 11 Manual leak test手动检漏测试，按“ACK”确认。 12 Leak Repair泄漏维护，按“ACK”确认。 13 Repair Leak test维护后泄漏测试，按“ACK”确认。 14更换钢瓶后Post-purge后吹扫，执行完循环次数。 15 Regulator调压阀 shutoff及测试。 16缓慢完全打开钢瓶手动阀，回1/4圈，进入钢瓶压力测试。 17缓慢调节Regulator调压阀的二次压力至供气压力。 18按“service ready”进入钢瓶供气或备用。 1 选择需要更换的钢瓶，按“更换钢瓶”后按“确认”。 2 关闭更换钢瓶的钢瓶手动阀，按“下一步”。 3 确认钢瓶手动阀已经关闭，按“确认”。 4 进行低压释放。 5 进行预吹扫，完成设置的循环次数。 6 钢瓶检测结束报警，按“close”，按“下一步”。 7 更换钢瓶，结束后按“下一步”。 8 进行钢瓶Fitting测漏，正常后按“确认”。 9 进行后吹扫，完成循环次数。 10 钢瓶检测结束，按“close”。 11 如果是液态类气体需要输入皮重和切换压力“净重”确认。 12 缓慢完全打开钢瓶手动阀，回1/4圈。 13 选择供气或备用。 14 缓慢调节Regulator调压阀的二次压力至供气压力。 三.手动气柜更换钢瓶操作步骤： 要求PN2钢瓶的出口压力80+/-10PSI。 1 关闭钢瓶手动阀。 2 打开低压放空的左抽空开关（V3L、V4L、V7L），使之管道内气体完全放空，然后关闭此阀，同时关闭Regulator。 3 更换钢瓶前的Pre-purge：打开钢瓶PN2管路左吹扫开关进行Pigtail吹扫5秒后关闭，然后打开高压放空的左高抽开关使之对Pigtail管道部分进行抽真空3秒后关闭；再次PN2进行Pigtail管路吹扫以及抽真空，循环往复执行10次。 4 执行更换钢瓶的过程。 5 更换钢瓶后的Pigtail Fitting检漏：打开钢瓶PN2管路左吹扫开关，然后再关闭，进行Pigtail Fitting的check leak。检漏通过后进行Pigtail后吹扫。 6 更换钢瓶后的Post-purge：打开钢瓶PN2管路左吹扫开关进行Pigtail吹扫5秒后关闭，然后打开高压放空的左高抽开关使之对Pigtail管道部分进行抽真空3秒后关闭；再次PN2进行Pigtail管路吹扫以及抽真空，循环往复执行10次。 7 关闭L盘面上所有气动阀件，打开L钢瓶手动阀，调节Regulator的压力使之满足工艺设备的供气压力。 如果是液态类气体需要输入切换压力“毛重”确认。 8 缓慢完全打开钢瓶手动阀，回1/4圈。 9 缓慢调节Regulator调压阀的二次压力至供气压力。 10 按“供气开关”或“备用开关”。 6.钢瓶更换分解图示 ●后吹扫： 1 )Pigtail Fitting检漏 ２）通ＰＮ２吹扫 　关ＬＰＶ－ＨＰＩ→开ＰＧＩ ３）抽真空 　开ＶＧＳ→ＨＰＶ ４）保压 VMB/VMP Valve Man