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由光干渉来看显示器业界
由光干渉來看顯示器業界
面板
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● 玻璃表面傷痕
● 防眩性膠膜
部材
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製程
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● 電極配線
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● 黑色矩陣
● 彩色濾光片
● 影像間隙
● 誘電体膜厚分布、
肋狀構造
● 玻璃再生残渣
線上裝置
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● 液晶Photo Spacer
● 晶圓微細構造
由光干渉來看微機電業界
微細Pattern,高寬比大的構造
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● 金屬電極形狀,
LineSpace
● 蝕刻Pattern
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● 玻璃晶圓
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加工製程
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● 鑽石板表面
● 晶圓切割膠捲厚
● 光阻表面,膜厚分佈,殘渣
● 玻璃翹曲,厚度分佈
● 雷射Bump
● 雷射晶圓切割導溝
MEMS感應器
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● 微幫浦
(噴墨嘴形狀,深度)
● 玻璃/晶片間間隙,分佈
● 金屬薄膜 壓力依存性
● 流體裝置 Polyimide膜
由光干渉來看汽車業界
引擎零件
引擎零件
磨耗關聯
● 活塞 內壁
● 陶瓷零件
● 傳動零件
● 活塞頭
電裝零件
電裝零件
● 薄膜高度差
● MEMS感應器
(MEMS與玻璃間距)
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防潮層膜厚分佈
車内
車内
● 儀表板表面形状
● 合成皮革表面形状
● 觸控螢幕 ITO 膜表
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車體
車體
● 硬殼層厚度
● 塗裝表面形状
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● 車體表面劣化
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