PhotoKleen EZD-2X囊式过滤器 - Pall.PDF

ME075CHa PhotoKleen EZD-2X 囊式过滤器 面向尖端工艺流程、便于更换的囊式过滤器 (大面积型) PhotoKleen EZD-2X过滤器单元中的囊式过滤器，为与配管连 接而被安装在配管支架上使用。只需按一下更换杆就可拆卸更 换此囊式过滤器。囊式过滤器的内部容积被最小化，从设置在 顶部的入口连接部到囊内部的底部设有独立的液体流路，优化 了囊内部的液体置换性并缩短了初始气体吹扫时间。针对不同 的用途，备有尼龙6,6和高密度聚乙烯(HDPE)2种过滤介质可供 选择。特别是具有极性的尼龙6,6介质，可有效降低DUV工艺中 的图形缺陷。 另外，为更有效去除最尖端设备制造业中的微小颗粒，新产品 XP选项 （特殊洗净）加入产品系列供您选择 （只对应220nm 以下过滤精度）。 特性 ●和PhotoKleen EZD-2相比，尺寸基本相同，但过滤面积约 增加了2倍 ●采用囊式过滤器使更换操作更简便 ●备有2种过滤介质和多种过滤精度可供选择 本产品可装置在PhotoKleen EZD-2配管支架上使用。 ●囊式过滤器内部容积被最小化，入口一侧设有独立的液体流路 优点 ●对于高粘度液体，压力损失小 ●短时间内完成过滤器的更换，可以防止有机溶剂蒸发对洁净 室内的污染 ●可根据用途选择最适合的滤材和过滤精度 ●可缩短更换过滤器的初始泡管时间，并能防止光刻胶滞留在 ■材质 囊式过滤器的内部 构成部件 材 质 过滤介质 P-Nylon ：亲水性尼龙6,6 （高度不对称） PE-Kleen ：高密度聚乙烯 （HDPE） 介质支撑层 HDPE 高密度聚乙烯 （ ） 支撑内芯 HDPE 高密度聚乙烯 （ ） 网罩