微电镀和腐蚀夹具（MTOOL 系列） - 微构龙科技半导体设计MEMS设备 .PDF

微电镀和腐蚀夹具（MTOOL 系列） 微构龙科技（MST）的夹具系列（MTOOL）专为其微电镀和腐蚀设备配套设计和制造的，多样性和实用 性满足了客户多方位的需求。 在微构龙科技（MST）的产品中，电镀和腐蚀夹具系列占有很重要的地位，它的功能在于承载晶圆（硅 片），配合设备对晶圆（硅片）进行各种操作，同时兼具对晶圆（硅片）的保护或与外设装置的安全连接。 夹具作为一个系列的独立产品，可供客户进行选择，同时根据客户的功能要求和样品形状尺寸进行个性化 定制服务。 1. 微电镀夹具： 主要用于电镀设备的阴阳极，承载晶圆（硅片）和进行电连接。 2. 硅片保护夹具： 用于KOH深硅腐蚀，在腐蚀工艺中有效保护非腐蚀面不被腐蚀。 3. 电化学腐蚀夹具： 硅片保护夹具，适合硅片背面有金属或无金属的样品，在保护非腐 蚀面不被腐蚀的同时，实现硅片与电源的连接。 4. 电化学腐蚀阴阳极：电极材料可选择 Pt，Mo，Si，Grahite 等，专用的外连接装置实现 电极材料与外界电源的连接。 5. 光辅助系统光源： 专门为电化学多孔硅腐蚀设备光辅助系统配套使用。 夹具名称 夹具型号 夹具功能 适合工艺 定制 阴极夹具 MTOOL-MP-A 用于电镀设备的阴阳极，承载晶圆（硅片） 电镀。2-8INCH晶圆 是 和进行电连接 或异形片均可 阳极夹具 MTOOL-MP-C 电镀阳极，分为不溶性阳极Pt/Ti net 电镀。与阴极夹 是 和承载可溶性阳极的Ti basket 具对应 The Micro-electroplating and Etching Specialists for Semiconductor, MEMS, LED . . . . . . 硅片保护 MTOOL-SP-K 用于KOH深硅腐蚀，在腐蚀工艺中有效保护非 KOH 硅腐蚀，适合 是 夹具 腐蚀面不被腐蚀。 2-6inch硅片 电化学腐蚀 MTOOL-EC-S 硅片保护夹具，适合硅片背面有金属或无金属 多孔硅腐蚀，KOH 是 夹具 的样品，在保护非腐 蚀面不被腐蚀的同时， 腐 蚀 ， 适 合 实现硅片与电源的连接。 2-6INCH硅片 电化学腐蚀 MTOOL-EC-E 电极材料可选择Pt，Mo，Si，Grahite等，专 多孔硅腐蚀，KOH 是