流态床法纳米氮化硅粉体的制备 - 无机材料学报.PDF

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 文章编号 一 一 一 流态床 法纳米氮化硅粉体 的制备 , , , , ‘ ‘ 王 勇 沃 银 花 姚 奎 鸿 祝 洪 良 王 耐艳 浙 江 理 工 大 学, 杭 州 浙 江 大 学 , 杭 州 要 用硅烷和 氨气 在立式双 温 区流态 中 学 相沉积 , 制 了形状规则 的球状无 定 摘 采 床 化 气 备 氮化硅 , 利用 射 衍射 、 透射 电 和 立 叶红外 究 形 纳米粉体 并 线 镜 傅 研 、 了该纳米粉体的形貌 成分和物相 讨论 了该流态床法制备纳米氮化硅 的关键 因素, 并得到流 态床 中制备氮化硅纳米粉体 的优化工艺参数 关 键 词 氮化硅 硅烷 , 流态床 , 化学气相沉积 中图分类号 文献标识码 引言 、 、 由于 氮化硅 陶瓷 具有优越 的热稳 定性 抗氧化性和 抗腐蚀性 ,