阳极键合.PPT

太原理工大学大学生创新性实验 编号:100110 项目中期汇报 内容导览 2 成员介绍 指导老师：孟庆森教授 青年教师：胡利芳博士 组内成员：龙洋 李云 张华 谢瑞山 3 开篇引题 4 MEMS的应用 现状—— 已形成可用性产品，主要是微传感器、微执行器等器件级产品 应用—— 光信号处理、生物医学、机器人、汽车、航空航天、军事和日用电器等领域 已得到广泛的应用，并有巨大潜在的应用前景和经济效益 功能上可以开发出许多以往无法实现的产品 微型化替代以前人类无法完成的某些工作 可能象微电子一样，引发一场新的技术革命 作用—— 5 阳极键合 阳极键合技术 阳极键合技术是一种连接金属、半导体与陶瓷材料的很重要的方法。 永久性键合 没有失效期 不受外界因素影响 6 实验名称 7 实验进度 3月 创新性实验 启动 4月 5月 6月 9月 3月中旬，第一次与导师交流 5月初，再次与导师交流 6月初，实验开始，熟悉设备，老师示范 7月 7月初，汇报交流 10月 9月底，实验中期交流 查阅资料 7 实验原理 阳极键合过程实质是固体电化学反应过程，在高温高压下，玻璃中的碱金属氧化物电离，通电后施加于两极板之间的电场使玻璃中的碱金属离子（主要是Na+）从阳极附近迅速向阴极移动。 9 实验原理图 10 压力控制装置 2. Si片 3.玻璃 4.加热板 5.电源 6.电源控制 7.记录仪 图1 玻璃与硅的阳极键合示意图 Na+从阳极附近向阴极移动 11 实验设备 设备：阳极键合炉，变压器，热电偶，加热控温装置，数据采集装置，压力控制装置 12 实验材料 Pyrex 7740 玻璃，单晶硅，无水乙醇，清洁棉。 13 * 实验过程 14 困难及解决方案 查阅资料时遇到问题······ 实验设备被烧损······ 设备简陋，难以达到较高的操作精度······ 15 实验成果 * 键和成功的试件 16 * 1 2 1 2 3 阳极键合后玻璃背部的表面SEM形貌 阳极键合前玻璃的表面SEM形貌 17 谱图 C O Na Al Si K 总的 1 12.98 45.71 28.12 / 13.19 / 100.00 2 15.17 40.38 27.06 / 17.39 / 100.00 3 2.54 47.84 2.97 1.22 44.64 0.79 100.00 谱图 C O Na Al Si K 总的 1 3.01 41.06 2.23 1.44 51.26 1.01 100.00 2 4.21 40.91 2.00 1.34 50.72 0.81 100.00 表1 EDS成分分析结果 表2 EDS成分分析结果 * 18 图2电压为600V时不同温度下硅/玻璃键合的电流变化趋势 实验心得 19 实验规划 通过拉伸实验，观察断面，并进行力学性能分析 20 欢迎老师和同学 提出宝贵意见 21 完 Thanks * 微执行器多以材料变形，为第二种结构；因为结构小、紧凑、制作与驱动方便。 太原理工大学大学生创新性实验 * * 太原理工大学大学生创新性实验 * 太原理工大学大学生创新性实验 * 太原理工大学大学生创新性实验 太原理工大学大学生创新性实验 太原理工大学大学生创新性实验 太原理工大学大学生创新性实验 * 微执行器多以材料变形，为第二种结构；因为结构小、紧凑、制作与驱动方便。 太原理工大学大学生创新性实验 * * 太原理工大学大学生创新性实验 * 太原理工大学大学生创新性实验 * 太原理工大学大学生创新性实验