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2008
2008年8月 机械科学与技术 AugIIst
Scienceand for V01．27No．8
第27卷第8期 Mechanical Techn0109yAerospaceEngineering
太阳能硅片制造方法研究现状
邱明波，黄因慧，刘志东，田宗军，汪 炜
(南京航空航天大学机电学院．南京2l0016)
邱明波
摘要：太阳能硅片的制造工艺主要包括硅片的切割以及绒面制备两部分。本文介绍了外圆切割、
内圆切割、多线切割及电火花线切割4种硅片的切割方法，综述了碱腐蚀、酸腐蚀、电化学腐蚀等9
种制绒工艺，并分析其适用范围和特点。提出随着太阳能技术的应用需求不断扩大和晶体硅原材
料供应的短缺，大尺寸超薄硅片切割技术的发展趋势将日益明显。最后指出了电火花电解复合线
切割具有切割与制绒一体化的特点，是硅片制造方法的一个发展趋势。
关键词：太阳能电池；硅片；切割；绒面
中图分类号：TG662 文献标识码：A 文章编号：1003．8728(2008)08—1017旬4
AReviewoftheFabricationMethodsforSolarSiliconWafer
Qiu Yinhui，Liu Wei
Mingbo，Huang Zhidong，TianZon舀un，Wang
ofMech8nicalandElectrical ofAeronautic8and
(College Engineering，NanjingUniversity Astmn8utics。Nanjing2lool6)
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