可动微机电器件摩擦磨损测试方法研究.pdfVIP

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2017-07-29 发布于北京
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可动微机电器件摩擦磨损测试方法研究.pdf

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2006 2006年7月润滑与密封 July LUBRICAT【ONENGINEERING 第7期(总第179期) No．7(serialNo．179) 可动微机电器件摩擦磨损测试方法研究+ 孟永钢郭占社 (清华大学摩擦学国家重点实验室北京100084) 摘要：为比较真实地模拟可动微机电器件侧面间的摩擦磨损状况，进而研究MEMs器件的摩擦磨损规律，设计和研制了一种基于单晶硅材料的微摩擦试验模块，利用微机械体硅工艺及键合技术，将摩擦磨损测试单元、加载单元以及微力传感元件集成在单一的芯片上。最后，在大气环境下借助数字光学显微镜和图像处理技术对该试验模块的静、动态摩擦因数及磨损状况进行了测试。试验结果表明：随着正压力的增加，该摩擦副的摩擦因数相应减小，在较长时间的摩擦过程中磨粒表面出现了比较严重的氧化现象。关键词：微机电器件；摩擦磨损；体硅工艺；键合技术；摩擦因数中图分类号：THll7．1文献标识码：A文章编号：0254—0150(2006)7一012—3 for 0f An MethodMeasurements on．chipTesting inMoveableMEMSDe啊ces FnctionandWear GuOZhanShe MengYOnggang 100084，China) (StateKeyIJaboratoryof％bolog)r，TsinghuaUnivers时，Beijing t0 of miero—tribotegterwas sirruJlatethe behaviorsonsid州试ls 鲥塔t瑚Ict：An singlecrystal on—chip developed tribol093r this andforcesensorsarean ona siliconMEMSdevices．In system，theloadingstructure，fHctionalpair in协铲ated sinde thebulksilicon and wasc删edoutontIleIIlicm—tribotesterundera bondingtechnoIogy．T抽olog)rtesting chipby ppocess witllthe ofn叫malfbrce．In atambientcondition．Itisfoundthat伍ctioncoefficientdecreases inc弛鹕e di西talmic