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扫描式电子显微镜(SEM) 暨显微结构实务训练班 - 国立中兴大学材料
掃描式電子顯微鏡(SEM )
暨顯微結構實務訓練班
時間:2013 年7 月11 、12 日 ( 星期四、五)
地點:逢甲大學學思樓2樓209室
課程簡介
主辦單位:台灣真空學會
協辦單位:逢甲大學共同貴重儀器中心、逢甲大
學材料科學與工程學系、汎達科技有限公司
適合對象:具顯微結構技術需求之研發與工程技
術人員、研究生及大學生。
報名人數:即日起至額滿40人為止。
研習證明:完成研習課程者,於課後頒發台灣真
空學會結業證書。
•
課程目標
理論課程:教授學員SEM的構造及光學系統、電
子束與試片之交互作用、SEM 二次電子及背向電
子影像成像原理、X 光能量散佈分析(Energy‐
dispersive Spectrometer, EDS )及波長散佈分析(
Wavelength‐dispersive Spectrometer, WDS )光譜
量測要領。
實務課程:讓學員觀察二次電子及背向電子影像
及進行X 光譜量測,幫助學員建立顯微結構之觀
察及判定能力。
課程安排
日期 時間 課程內容 講師
08:40~09:00 報到/致歡迎詞(班主任:陳雅惠博士)
顯微組織技術之重要性及應用、SEM的構造及光學系
09:00~10:30 駱榮富教授
統
10:30~10:40 茶敘
10:40~12:10 電子束和試片的交互作用、SEM的成像原理 駱榮富教授
7/11
(星期四)
12:10~13:30 午餐
13:30~15:00 X光譜量測 ﹙EDS及WDS ﹚ 駱榮富教授
15:00~15:10 茶敘
15:10~17:10 二次電子及背向電子影像(實作課程) 陳雅惠博士
課程安排
日期 時間 課程內容 講師
08:40~09:00 報到
電子顯微鏡低電壓高解析應用技術: Fully In-lens 二次
09:00~10:00 陳劍峰博士
(SE )與背向電子(BSE )偵測器應
10:20~12:00 新一代大尺寸超薄窗及無窗EDS偵測器 陳子適博士
12:00~13:30 午餐
7/12
(星期五) 13:30~15:00 EDS元素分析(實作課程) 陳雅惠博士
15:00~15:30 茶敘
15:30~17:00 顯微組織研判與實習及實例說明(實作教學課程) 朱俊文經理
17:00~17:30 心得分享/頒發結業證書
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