机电集成静电谐波传动柔轮的应力分析.pdfVIP

第3l卷第6期 机电集成静电谐波传动柔轮的应力分析 文章编号：1004—2539120町)06—0013一∞ 机电集成静电谐波传动柔轮的应力分析 (燕山大学机械工程学院，河北秦皇岛066004)秦 磊 许立忠 摘要提出了一种基于静电驱动的新型机电集成传动系统，描述了该传动系统的基本工作原理。 通过合理的假设，将传动的柔轮简化为圆柱壳体。把对称作用在壳体上的静电场力展开为f砌er级数 形式。在选取合适的位移函数的基础之上，对一端自由一端固定的柔轮进行研究，通过迭代确定相应的 待定系数。并最终得到应力沿中曲面的分布规律，为传动的设计和研究提供了有益的参考。 关键词机电集成静电场力位移函数庄力分析 在图l中，当柔轮的壁厚d远小于其中面的曲率 引言 半径r时，可以把其作为薄壳来分析，它满足以下的基 微机电系统(MEMs)是指那些以(0．5—500)肿为本假设一J，(1)垂直于中面方向的正应变忽略不计；(2) 特征尺寸的可动部件组成的机械系统。它们在电子组 中面的法线保持为直线，而且中面法线及其垂直线段 装、医疗器械、航空和军工等领域中具有很广阔的应用 之间的剪应变为零；(3)与中面平行的截面上的正应力 前景，其特点是高度集成了机械、电子与控制技术于一 为零；(4)体力及面力均可简化为作用在中面的载荷。 体姐“J。随着尺寸的减小，静电力表现出比机械力和 电磁力更明显的优势”J。 1‰erw等曙1研究了一种由4块电极组成的静 熏轮 定子 电谐波电机，并计算了转矩；sa砌T等旧J比较了圆锥 上端盖 轴 式和圆柱式摇摆静电谐波微电机的转矩，并进行了实 绝缘罩 验。他们提出的模型均存在输出轴摆动，转子与定子 下螭盖 轴承 之间由于摩擦导致静电能损失等缺陷。基于上述问 蹶。本文根据谐波传动原理提出一种新型静电驱动电 机，机电集成静电谐波传动系统，并运用数值方法对传 图l结构示意图 动中产生变形的柔轮进行了详细的应力分析。 1机电集成静电谐波传动的工作原理 八及 图l所示为机电集成静电谐波传动系统的结构示 意图。图1a中，传动的柔轮1是半径为r、厚度为d， 有效变形长度为l的薄壁铝制圆柱，柔轮外面是厚度 乜◇ 为；的薄层空气。定子是空气层之外的6块用来在不 同时刻施加电压的互相绝缘的金属导体2，它们的内 壁需经过阳极氧化处理，以获得一层很薄的电介质层。 囝2坐标示意图 在定子2的对称角度[一p，p】上施加电压后，会在柔 轮1的表面产生一定的感应电荷，于是内外金属体之 间形成静电场，所产生的电场力如图lb所示。在静电 场力的作用下，柔轮必然会发生一定的变形。将电压 顺序施加于不同的相对应的两个扇区内，则柔轮会在 相应的位置发生变形，由于变形的周期性，柔轮会因此 而转动起来。 ∥ 2 柔轮的应力 图3应力分布示意圈 2．2应力表达式 2．1基本假设 ， 4 机