考虑温度效应的两端固支微机电开关梁静力分析.pdfVIP

第43卷第7期 机械工程学报 V01．43No．7 2007年7月 Jlll． 2007 CHn呵ESEJOIⅡ℃NALOFMECHANICALENGn町EERING ‘考虑温度效应的两端固支微机电开关梁静力分析 曹天捷丁芳 (中国民航大学交通工程学院天津300300) 摘要：建立考虑温度效应的二维两端固支微机电开关梁静力变形分析模型，利用该模型分析温度变化引起的失稳 问题，并利用该模型对两端固支微开关梁受电场力和温度作用下的受力变形进行分析。分析过程分为三个阶段： 梁受电场力和温度变化作用，而在梁中点不受任何约束的变形阶段；除受电场力和温度变化作用外，粱中点变形 受约束，因而梁中点受支反力作用的变形阶段；梁受电场力、温度变化以及支反力作用，并且在梁的中间一段具 有指定挠度和转角的变形阶段。第二阶段中支反力的大小以及第三阶段中支反力的大小和位置都同驱动电压和温 度变化有关。在实例中，给出部分计算结果，包括：温度变化对不同阶段梁受力变形的影响、对吸合电压的影响、 对微开关电容的影响，以及不同温度变化下梁长对吸合电压的影响和不同温度变化下梁高对吸合电压的影响等， 从中可以看出温度变化的作用及考虑温度效应的必要性。 关键词：微机电开关两端固支梁静电力驱动吸合电压温度效应 中图分类号：039 两端固支射频微开关梁属于薄膜结构，其长细 O前言 比(梁的长度和高度之比)通常都非常大，温度效应 非常明显，温度的变化对梁性能的影响远大于对宏 自20世纪90年代以来，随着MEMS技术的飞观梁的影响，因此对梁进行分析时，有必要考虑温 速发展，微机电开关也得到了快速发展，人们研制 度效应。文献[1l】用有限元法分析了温度对于吸合 出了不同形式、不同作用的微机电开关【l-z】。其中射 电压、梁变形的影响。本文将建立考虑温度效应的 频微机电开关因其优越的微波特性和质量轻、尺寸 二维两端固支梁模型，利用该模型对两端固支梁进 小和功耗低等优点，必将在微波系统中取得更大的 行了温度失稳分析，并分析温度变化对于微开关梁 发展。射频微机电开关的重要特性包括：和开、关 变形全过程及不同变温下部分梁尺寸对开关性能的 态电容及信号频率相关的品质因数、插入损耗、隔 影响。 离度【31，以及吸合电压或阈值电压等，这些特性都 和射频微机电开关的尺寸、结构形式、驱动电极间 l温度失稳分析 的间隙等密切相关，十几年来，众多学者对射频微 开关梁进行了较深入的研究。利用一维集中参数模 在均匀温度变化秒作用下，利用纵向应变为零 型进行研究的内容包括：计算吸合电压14J、驱动电 的条件，通过超静定分析，可得两端固支梁(实际为 极初始间隙对吸合电压的影响、轴力对吸合电压的 两端固支、另两端自由的板，考虑到板长度尺寸大 影响、静电场边缘效应对吸合电压的影响【5棚、残余 于板宽度尺寸的两倍以上，这里将板近似看成单向 应力对吸合电压的影响州、C蠲imir力对吸合电压的板)中的轴力为 、 影响【J7】以及开关梁材料的选择【8】等。文献[9】在吸合 ，：旦业 (1) 一 电压发生时，假设微结构的最大挠度达到初始等效