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* * * * * * * * * * * * * * SE电池工艺交流 硅片检验 化学表面处理 磷扩散 周边及背结刻蚀 PECVD镀膜 丝网印刷 烧结 分档测试 检验包装 传统电池工艺 优点： 工艺简单，设备自动化程度较高，易于规模化生产，成本较低 缺点： 光电转换效率较低 传统电池工艺的优缺点 在扩散工序，低参杂浓度可以降低少数载流子的体复合几率，且可以进行较好的表面钝化，降低少数载流子的表面复合几率，从而减小电池的反向饱和电流，提高电池的开路电压和短路电流。 传统电池工艺分析 制约传统电池光电转换效率的环节最重要的是扩散和金属化两道工序，这两道工序是相互制约的一对矛盾。 金属化工序，电池正、背面需要印刷银浆和铝浆，从而需要高的表面参杂浓度来获得好的欧姆接触。低的表面参杂浓度，在制作电极时使金属和硅接触部分形成高的 传统电池工艺分析 另外，因越靠近太阳电池的表面，光生载流子的产生率越高，而越靠近扩散结光生载流子的收集率越高，故浅扩散结可以在高载流子产生率的区域获得高的收集率，提高电池的短路电流。 传统电池工艺分析 接触电阻，而且扩散区的薄层电阻较大，也增加了对光生电流的阻力，从而进一步增加太阳电池的串联电阻，降低电池的填充因子，最终使