太阳盲M gZnO光电探测器 - 发光学报.PDF

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2017-08-04 发布于天津
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太阳盲M gZnO光电探测器 - 发光学报

29 4 V ol29 N o4 200 8 8 CH INESE JOURNAL OF LUM INESCENCE A ug. , 2008 : 1000-70 32 2008) 04-0743-04 太阳盲MgZnO光电探测器 1, 2 1* 1 1 1, 2 蒋大勇 , 张吉英 , 单崇新 , 吕有明, 赵延民 , 1, 2 1 1 1 1 1 韩舜 , 姚斌 , 张振中, 赵东旭, 申德振 , 范希武 1. , 130033; 2. , 100049 ) : M gZnO , A u , -- M SM ), M gZnO , 225 nm, 230 nm : M gZnO ; ; : O 742. 8 PACC: 7240 : A , 225 nm 1 引言 , M gM gZnO , M SM M gZnO , , 225 nm, [ 6 ] W . Y ang PLD , M gZnO , A lGaN pn, A lG aN pn, 2 实验 ) M g 50% M g Zn O 0. 5 0. 5 [ 1] , , [ 2, 3] M gZnO , 7. 5 200 nm A lN , cm, 3 10- 4 Pa A lN 99. 999% M gZnO , A rO2 = 6020 sccm, 3. 36~ 7. 8 eV, 370 ~ 159 450 , 100W ; nm )[ 4~ 10] , 1 Pa, 1 h , M gZnO , A lGaN 50 nm A u , [ 6] M SM , M SM , W . Y ang PLD) M gZnO 500 m, 5 m, , MSM --) 5 m, 1 Sh mi adzu : 2008-05-23; : 2008-06-24 : ) ; 973 20