微气流角速度传感原理及几个关键问题-上海电力学院学报.PDF

第 卷第 期 上 海 电 力 学 院 学 报 年 月 微气流角速度传感原理及几个关键问题 李丽伟 上海电力学院能源与机械工程学院 上海 摘 要研究了密闭腔内定向微流体的角速度敏感原理驱动控制及气流效应检测基于哥氏效应和热平衡方 程建立了气体流速及热敏丝温度变化之间的关系模型获得了输入角速度与传感检测输出电压信号间的传递 关系利用挤压膜阻尼探讨了微气流与其驱动机构的振动耦合分析了密闭腔体结构以及热敏丝设置等对气 流效应及检测的影响结果表明圆柱腔体及平行热敏丝可有效避免气流效应的交叉耦合 关键词微机电系统 角速度传感 微流体 压电驱动 中图分类号文献标志码 文章编号 微机电系统 用角速度传感器等陀螺惯性器件已获微型化而 将微传感技术驱动技术和微电子 该微型化是以微机械陀螺为主的 由于微机械 控制技术集于一体其特征是尺寸极小学科交叉 陀螺采用活动质量块结构作为敏感元件导致其 广泛 惯性敏感器件的核心之一是角 抗振动抗冲击性能低相反气流式惯性传感器 速度传感器主要用于回转体角速度的测量输出 以受迫流动气体作为敏感质量具有高抗振性及 与角速度成比例的电信号随着技术的应 抗冲击性但仅限于宏观尺度上得以实现目前 收稿日期 通讯作者简介李丽伟 女博士后副教授山东定陶人主要研究方向为微机械微驱动 上 海 电 力 学 院 学 报 年 利用对流气体来敏感加速度的微机械热对流加速 度传感器率先实现了气流式惯性器件的微型化 这为气流式角速度传感器的微型化奠定了基