基于微滴喷射技术的三维复杂微结构快速制造工艺研究.pdf

工程塑料应用 2006年．第34卷，增刊 基于微滴喷射技术的三维复杂微结构快速制造工艺研究 杨继全1朱玉芳m ． (1南京师范大学信息与控制工程技术研究所，南京210042；2南京理工大学机械工程学院，南京210094) 摘要研究一种基于微滴喷射技术厦微光造型技术、采用多种材料实现三维复杂微结构的快速制造工艺，介绍 了基于此种工艺研制的微系统样机的组成、功能、成型过程厦成型样件。叙述了该工艺涉厦的关键问题：微光造型 工艺的基础性理论、光源、光学扫描、功能型光教树脂、微流体控制技术等。 关键词快速成型微光造型微滴喷射微结构 三维微结构由于可应用于微传感器、微执行器、 统按工艺主要分为两大类，即扫描式MSL和投影式 微机器人、微驱动器、微光学元件及医学移植模型等 MSI。。 方面而有着广泛的应用前景和价值。 (1)扫描式MSL工艺 目前三维微结构的制造工艺主要有硅加工，X 大多数MSL设备都采用这种扫描方式，它采用 射线光刻、电铸及注塑(LIGA)及微放电加工等”J，逐点——逐线——逐层的固化扫描方式。该扫描方 这些微加工工艺的缺点是加工周期长，加工过程自 式采用的激光束的焦斑直径约为1Ixm，由光源输出 动化程度低且很难加工出形状极其复杂的三维微结 直接照射在液体表面引发光固化。三维微结构就是 构。而采用微光造型(MSL)法则有望克服上述问通过激光束的重复扫描和树脂的层层迭加成型的。 题。MSL来源于快速成型(RPM或RP)中的光固化该扫描工艺的光束投射到树脂液面有两种方式，即 (sL)工艺”3。笔者提出了一种基于MSL和微滴喷x—l，导轨式(见图1)和振镜式(见图2)。 射工艺制作三维复杂微结构的新工艺，并开发了相 应的成型系统。 1微光造型工艺 MsL的原理与SL基本一致，但其具有更高的 成型精度。在MSL中，紫外激光束的焦斑直径缩聚 至1～2Ixm，固化层厚度为1—10斗m，三维工作台 x轴 的运动精度为亚微米级，能够保证复杂三维微结构 图1采用x—y导轨的扫描式MSL茅坑结构简图 的成型精度”1。而在传统的sL中，焦斑的直径和 树脂层的厚度都在100—1000¨m，三维工作台的运 动精度为微米级。 MSL法的特点是”’：MSL法属于堆积造型，能 制作几乎任何三维微零件；成型速度快，计算机辅助 设计(CAD)模型设计完成后，用MSL法几小时就能 成型，而用别的方法，往往需要几周、几个月；设备费 用低，不足硅加工及L1GA加工的十分之一。但单 图2采用振镜的扫描式MSL系统结构衙图 纯依靠该工艺，目前还不能无装配地制作出各部分 材料性能不同的微机构。 用多束光线扫描的形式，其示意图如图3所示。其 相比于传统的材料去除型的微加工。MSL是一 基本思想是采用多个单模光纤同时工作，从而提高 种材料迭加型的微加工，因此，它可“制作出高深宽 成型速度。 比的复杂微结构。 (2)投影式MSL工艺 MSL最初在1993年用于制造高深宽比及复杂该工艺采用整层固化的方式，因此该工艺的固 的三维微结构”1。近年来，为了提高成型的精度和 速度，开发出了不同的MSL工艺系统”。1。这些系 收稿日期：2006—09-22 杨继全，等：基于徽滴喷射技术的三维复杂微结构快速制造工艺研究 撑材料的喷射通断等动作。 (3)光学子系统