关于原子力显微镜的cddvd 表面形貌检测.pdfVIP

电子测量与仪器学报 2008年增刊 一种探测传感器式的扫描力显微镜的研制 陈晓梅1 马晓苏1 朱振宇1杨德良2 (1中国一航北京汝城计量测试技术研究所。北京100095) (2中科院化学所本原纳米仪器公司，北京100083) 摘要：本文主要介绍了用予扫描力显微镜并带动探针运动的扫描器的研制。利用该扫描器，研制了能安装在纳米测量机上 作为探测传感器的上扫描力显微镜。扫描力显微镜与中科院化学所本原纳米仪器公司的扫描探针显微镜控制器联接进行实验 测试，在23pm×23um×5岬的扫描范围对样品进行了扫描成像。经测试、分析和计算，在伞量程扫描范围内横向和纵向分辨 力分别为0．35rim和0．1nm、在未有任何软件和硬件补偿的情况下横向满量程扫描范围内精度为5％。 n 关键宇：扫描力显微镜(SFM)，纳米测量机(NMM)，扫描器。 中图分类号：TH742文献标识码； B c . ofaSFMOf look-alike Development sensor probing 1 XiaomeiMa Chen Xiaosu。Zhu ZhenyulYangDeliang’2 m (I Institute and 100095China) ChangcbengofMetrology Measurement(ClMM)．Beijing (2 Imtitute o ofChinese 100083China) Chemistry AcademyScience．Beijing Abstract：Thisintroducesthe ofacantileversc觚11er．Based011this$calmera mode mainly development up-scanning paper driving c was connectedto ofSFMhasbeen which at onthe ofNMM船a was developed originallyaimingmounting top probing贸fflsor．SFM . unit anano-instrumentof tOdo scannedand electroniccontrolofC