扫描电子显微镜在材料分析和研究中的应用 - 仪器信息网.pdf

( ) 第 1 卷 　第 4 期 南京工程学院学报 自然科学版 Vol. 1 ,No. 4 ( ) 2003 年 12 月 Journal of Nanjin g Institute of Technology Natural Science Edition Dec. ,2003 ( ) 　　文章编号 :1672 - 2558 2003 04 - 0039 - 04 扫描电子显微镜在材料分析和研究中的应用 蔡 　璐 (南京工程学院材料工程系 ,江苏 　南京 , 210013) 摘 　要 :简要介绍了扫描电子显微镜的功能及特点 ,阐述了这种检测仪器在工程材料领域中的用途 ,说明了扫描 电子显微镜对材料科学发展的贡献。 关键词 :扫描电子显微镜 ;工程材料 ;应用 中图分类号: TG115. 21+ 5. 3 文献标识码 :A Applications of Scanning Electronic Microscope in Material Analysis and Research CAI Lu (Dept . of Materials Engineering , Nanjin g Institute of Technology , Nanjin g 210013 , China) Abstract : The paper introduces functions and characteristics of scanning electronic microscope , illustrates its application in engineering materials , and explains its contribution to the development of materials science. Key words : scanning electronic microscope ; engineering materials ; applications 1 　引言 ( ) 扫描电子显微镜 SEM 是近几十年来发展比较迅速的一种先进的电子光学仪器 , 目前最先进的场发 射扫描电子显微镜分辨率为 1 纳米 ,放大倍数可从低倍至几十万倍。尤其是低真空扫描电子显微镜的问 世 ,使人们直接观察非导电性、易脱气及一定含水、含油的样品成为可能。扫描电子显微镜的成像原理与 光学显微镜不同 ,它采用细聚焦高压电子束在材料样品表面扫描时激发产生的某些物理信号来调制成 像 ,类似于电视摄影的显像方式[1 ] 。表 1 所列为扫描电镜中的各种信号及其功能。 表 1 　扫描电镜中主要信号及其功能 收集信号类别 功 　　能 二次电子 形貌观察 成分分析 背散射电子