采用卤化物-卤酸根离子电解质酸性气体传感器检测特性.docVIP

Sensons and Actuators 13108(2005)8.3-807 Detection properties of electro-chemical acidic Gas sensors Using Halide-halate electrolyte Solutions 采用卤化物及卤酸根离子电解质的酸性气体传感器的检测特性 a..理研计器（RIKEN KEIKI CO.LTD）2-7-6 AZUSAWA ITABASHI TOKYO 174-8744 JAPAN b..理研物理化学研究部 （Riken,The institute of physicaland and chemical research,2-1 Hirosawa,-waka.saitama 351-0198 Japan 摘要：对酸性气体的检测的电位型传感器进行了研究。检测原理基于通过酸性气体产生的氢 离子释放的卤素在电极上的反应。比较了不同的卤化物-卤酸根组合对不同的酸性气体的检 测性能。如：HF和HCl，发现传感器的灵敏度与电解液的组成和酸性气体都有关。I-/IO-3 组成对HF气体的灵敏度最高。、，而Br-/BrO-3几乎对HF没有响应。然而HCl气体的检测情 况是，I-/IO-3组成具有高的灵敏度，而且Br-/BrO-3又能适应于检测。酸性气体的检测灵敏度 能通过选侧卤化物-卤酸根组合来检测。 简介：许多酸性气体，如HF和HCl都用于半导体制造业。由于HF和HCl对人体具有 毒害作用，检测和监测这些气体就需要不同的气体传感器。目前使用的气体监测系统在工业应用上需要更多的适用的电位型的传感器。 因为HF和HCl的氧化还原电位高，因此HF和HCl直接的电极氧化是很困难的。我 们开发的电位型酸性气体传感器基于酸性气体产生氢离子，诱发电化学反应释放碘(I2)。采 用I-/IO-3溶液与HF的检测反应表示如等式（1）-（3）： Dissociation of acidic gas: 酸性气体的离解 HF(g)→H+ + F- （1） Iodine liberation: 碘的析出 IO-3 + 5I- + 6H+→3 I2+3H2 （2） Electrode reaction: 电极反应 I2 + 2 e→ 2I- (3 我们知道用于酸滴定不仅是I-/IO-3，还有整个卤化物-卤酸根系统都用于酸的检测。关 于卤化物-卤酸根系统的酸反应的研究有许多的报道。然而关于采用不同的卤化物-卤酸根系 统组合的电解质的酸性气体传感器的报道却很少。 本研究选用了碘和碘酸，溴和溴酸作为卤化物，卤酸根传感器的电解质。发现传感器的 灵敏度能通过溶液中的卤化物和卤酸根离子的一定组合来控制。通过选择适当的卤化物-卤 酸根的的组合开发了具有高选择性和高稳定性酸性气体传感器。 2、实验 气体传感器的原理和检测系统如图一所示 传感器包括一个金（Au）的工作电极、一个银(Ag)丝的对电极(an Ag wire counter electrode)，和一个银(Ag)丝的参比电极（an Ag wire reference electrode）。 化学试剂溴化钾（KBr）,碘化钾（KI）,溴酸钾（KBrO3）和碘酸钾（KIO3）买自和光 化学工业有限公司（Wako pure chemical industries,Ltd）使用时无须净化处理。 0.125mol/L的卤素离子（br-或I-）溶液，0.025mol/L的卤酸根离子（BrO-3或IO-3）溶 液体系作为传感器的电解质。提供给传感器的相对电解电位是0.1V（Ag/AgCl），选择适当的电位作为卤素还原的电极反应。用恒电位仪与记录仪作为电化学的测量输出。聚四氟膜从住友公司购买。其典型孔率大约是34%。工作电极的几何面积是39mm2 Uv spectra of several electrolytic solutions were measured by a Uv spectrochemical measurments were carried out before and ofter the HCl gas bubbling into the sample solutions. 测量各种电解液的紫外光谱，通过紫外光谱化学测量来实现HCl气体进入样品溶液前 后的测量。 3、结果和讨论 3.1电流响应曲线 3.1.1 HF气体的响应曲线如图2所示 当传感器在空气电极电位为0.1V时，几乎观察不到电流