计量型扫描电镜及测量不确定度分析 - 计量学报.pdf

第３５卷　第６Ａ期 计　　　 量　　　学　　　报 　Ｖｏｌ．３５，№６Ａ ２０１４年　１２月 ＡＣＴＡ　ＭＥＴＲＯＬＯＧＩＣＡ　ＳＩＮＩＣＡ 　 Ｄｅｃｅｍｂｅｒ，２０１４ ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００１１５８．２０１４．ｚ１．０１１ 计量型扫描电镜及测量不确定度分析 １，２ ２ ２ ２ ２ １ 缪　琦 ，　高思田 ，　李　伟 ，　施玉书 ，　李　琪 ，　卢荣胜 （１合肥工业大学，安徽 合肥２３０００９；２中国计量科学研究院，北京 １０００２９） 摘要：扫描电子显微镜（ＳＥＭ）作为一种有效的显微结构测量工具，可以对各种材料进行表面的观察与分析。 尤其是对１００ｎｍ以下的微纳几何结构的测量中，ＳＥＭ成为了主要的测量工具之一。为实现ＳＥＭ的量值校准与溯 源，研制了计量型ＳＥＭ。装置采用样品台扫描的方式得到样板二维结构，