无尘室运转保养摘要.pdfVIP

无尘室运转与维护管理 简介： 尘室洁净度之维持和控制，除了硬设备之配合投资外，也需要良好的软件 管理制度来搭配， 方能维持良好的洁净度； 尘室运转管理，可依作业人员、原物料、设备及无尘室内所用东西等加以探讨； 尘室内系统除了通称的空调系统之外，制程设备也包括在内，本节将对该二系统之运转维护及保养做一 概略说明。 关键字： 尘室 污染源 运转管理 维护保养 一、污染源控制 无尘室洁净度之维持和控制，除了硬设备之配合投资外，也需要良好的软件 管理制度来搭配，方 能维持良好的洁净度。无尘室内之微污染来源，经测试分析结果，作业人员占约80%，如图1 所示。实验 数据显示，作业人员进出 尘室时尘埃有显著增加，有人动作时，洁净度马上劣化，可见洁净度劣化之原 因人是主要因素。 无尘室的污染源可分为外污染及内污染源。外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、 风管材料以及一般性气体如N2 、O2、Air 、给水、溶剂等；而内污染源则包括制程设备、工作人员、工具、 加工制程、隔间材料、工作桌、包装材料等，图2 为微尘粒子的传送路径。 对硅芯片而言，微尘粒子之附着将造成集成电路线路的变形或短路，使芯片失去运作功能，因此微污 染源的控制已成为 尘室管理的重要环节。表一为自然环境所测得的尘埃浓度，可为设计参考，而在微 污染控制，其基本原则有四： 1.外 尘埃侵入之防止： 无尘室适当之正压保持 （0.5mmAq ），做好施工工程之不漏气，人员设备、原材料搬入无尘室前先做 好清洁擦拭等防尘动作，空气过滤器适当的管理和设置。 2.室内发尘之防止： 隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不聚集、动作放松、 洁净衣的管理、使用无尘室专用器等。 3.室内发尘之不积留： 墙壁体应光滑 死角、 尘室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。 4.发生尘埃之排除： 换气次数应足够，适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。 人、物入室的管理问题、实际的作业条件和工程管理关联之问题、室内之空调及清扫关系之问题，这 些问题将于下节祥述。 表1 自然界微尘粒子数 测量地点 微尘粒子数 （个/ft³）≥0.5µm 大气层圈 ≦100 田园地区（微风状态） 100，000~300，000 住宅地区 100，000~200，000 办公室 （工作中） 200，000~400，000 工业区 400 ，000~1 ，000，000 正在吸烟的会议室 600，000~1 ，000，000 二、无尘室运转管理 无尘室运转管理，可依作业人员、原物料、设备及 尘室内所用东西等加以探讨，并依计划（planning ）、 实施（Doing ）、追踪（Checking ）、动作(Action)之PDCA 环步骤执行。 1.作业人员之管理 前以提及在 尘室内污染来源80%来自作业人员,因此若能使作业人员依 尘室管理，而所有人员也均 能配合实施，则污染源的产生可说已减大半。现就进入 尘室的作业人员之管理和注意事项说明如下： （1）进入 尘室之人员，必须要具备有达成高洁净度标准，并要维持最好状态之观念。 （2 ）作业人员进入 尘室数目以维持最小限度原则 （愈少愈好），并须依 尘室进出标准流程进出 尘室，如图3 所示。出则相反方向进行，唯不须经空气洗尘室之脱尘处理。 （3）对作业人员必须经常讲解 尘室管理之数据，并加以教育与训练，内容如 尘室管理之一般常 识、无尘室之构造与功能、维护和清洁、安全对策、搬运器材之洁净管理与检查、洁净衣之穿脱、 尘室 内之步行方式等，并经考试合格者方能进入无尘室工作。 （4 ）在