无尘室之概念及管理.pptVIP

東莞聯橋電子有限公司 目 錄 一.什麼是無塵室(CLEAN ROOM) 1.無塵室(潔凈室) 2.無塵室等級之區分與美國聯邦209簡介 3.無塵室之設計與施工概念 4.淺談過瀘器 5.無塵室之驗收 二.無塵室人員與物品之進出管理與清潔 1.材料之進出 2.人員之進出 3.無塵室之清潔 三.無塵衣 1.無塵衣的必要性 2.無塵衣的質料要求特性 3.無塵衣的縫制 4.無塵衣的清潔管理 一.什麼是無塵室(潔淨室) 1.無塵室: 用最簡單之方法解釋,乃是一個房間或工作區其域,其內部空氣中之落塵(PARTICLE)用人為之控制,使其數量能在一定數目中可稱為無塵室. 2.無塵室等級區分與美國聯邦209簡介: 由於科技羳日新進步,對於精密電子工業,制藥工業,食品工業,光學工業,太空工業,核能工業等,為了能突破其範圍,對於其生產研究之周邊環境亦相對要求更苛,其目的乃是不希望空氣中的塵埃影響產品之精密.如:電子業之半導體晶圓,在其生產過程更是在意任何一點落塵之影響,因為將導至其不良品率之增加.但因業界不同對於無塵室之要求也不同,固須以一個標準規格來區分,以避免誤用.今天市面所用之規格大部分皆以田美國聯邦209為規範,今在此做簡單介紹. 美國在1963年前並無一套標準規格,此時政府的民間皆作自己之規範,后來以由政府的產業界之合作,在1963年定出了第一套F.S209規格,其中間因科技進步,其過程為1966年訂209A.在1973年4月改定209B,又在1976年5月修改209B之補充,持續一段時間在1987年發表209C,次年6月發表209D,至今已達到209E之修定規格. F.S.209之規格,針對其落塵量有分為幾個等級: 由以上可概知,F.S.209之等級區別是以CLASS:1,10,100,1000,10000,100000,做為等級之區別,其數字代表無塵室在測試時,大於0.5um的落塵不得超此數值,但這只是表面直接之數值,對於更詳細之規定,可參考下列圖表. 　　 橫軸粒徑以上之每單位方方呎粒子數之上限值＊FIGURE 1.CLASS LIMITS IN PARTICLES PER CUBIC FOOT OF SIZE FQUAL TO OR GREATER THAN PARTICILE SIZES SHOWN* 3.無塵室之設計與施工概念 無塵室因業界需求不同，所其以其等級也有所不同，最主要分為CLASS1,10,100使用之亂流式．層流指其空氣由上方天花板全總部吹出再由高架地板風回風，氣流由止上而下，無塵室內沒有死角，能將塵埃在最短時間內帶走． 　其優點：１．效果完全． 　　　　　２．若在作業善中影響較小． 　　　　　３．運轉后迅速可達到所需之落塵控制量． 　　　　　４．管理容易． 　其缺點：１．設備費用高．（維護費用高） 　　　　　２．換過濾網較麻煩． 亂流式無塵室其一般要求沒有層流式無塵室之嚴聚，由局部出風口 入潔淨之空氣，再由回風管(柱)或回風牆回風。 其優點: 1.設備費用低，維護費用低。 2.往后需擴充較方便。 3.若再配合無塵操作台或亭(CLEAN BENCH OR BOOTH)則可確保局部高潔度。 缺點: 1.因為亂流容易產生死角所以污染粒子可能在內部循環。 2.運轉后要達所需之清淨度，需一段時間方可達到。 3.人員與機械的配置必須注意配合。 在冷氣空調箱加裝過濾器是必這過程，但同樣為亂流式在CLASS 1000和10000需做末端過濾，CLASS 100000可作為集中過濾。 其它在建材之選擇也相當重要，不論在天花板、地板、隔間板、燈具等考慮范圍。另外對于氣密性。發塵性、清潔性、耐用性、防火性等亦相當重要。尤其是高效率過濾網箱更應該注意，因為高效率過濾網箱若無完全氣密，則空氣未經過濾網即送入室內，則無塵室之效率將大打折扣。4.淺談過濾器 今天能做到無塵室(CLEAN ROOM)甚而訂下某些規范，其實最大的功勞應算過濾器之精密度能提高﹔而CLEAN ROOM最主要也是靠過濾器來使空氣潔淨送入室內，再將污染之空氣迅速帶走。今天使用之過濾器依不同等級和需求可分為几種。(1)前置過濾器：有初級過濾網(PRE FILTER)與中效過濾網(MED FILTER)。其主要過濾較大之塵埃，保護延長商效過率網之壽命。(2)商效率過濾網(HEPA FILTER)：其效率可達0.3UM99.99%以上 DOP TEST，或稱絕對過濾器，送入無塵室內之空氣，必須經由它