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不同籽晶对多晶硅晶体生长的影响

43 10 人 工 晶 体 学 报 第 卷 第 期 Vol. 43 No. 10 2014 2014 10 JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS October , 年 月 不同籽晶对多晶硅晶体生长的影响 1 1 1 1 2 2 , , , , , 权 祥 焦富强 邓 敏 徐冬梅

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