无尘室计划书1215.doc

目 录 一、无尘室常用名词 01~04 二、无尘室等级定义 05~9 三、无尘室测试范围10~14 四、现场环境要求15 五、无尘室规划16~21 六、无尘室管理21~23 无尘室常用名词 无尘室定义：无尘室是一个为了对空间内空气中的微粒做控制，所建造的特殊封闭性建筑。一般而言，无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。 微粒控制：无尘室微粒控制的第一步，是把室内微粒对制程影响的程度做完整分析，然后针对分析结果，订定恰当的微粒控制方式与无尘室管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影响分析时，必须特别注意数据的量化，也就是粒径与其数量对制程的影响，才是有用的数据。 外来污染源：从无尘室外进入系统的污染源，外来污染源主要是由空调通风系统所导入，另外门、窗、墙壁裂缝等也是外来污染源的成因。 内部污染源：无尘室内部产生污染的来源，一般是制程机器与操作员工，最严重的内部污染源一般是操作员工。 隔离：隔离是污染控制的一种观念，也就是让污染源隔绝在无尘区域之外。这种观念多应用在高洁净度的无尘环境，例如 Class 100，Class 10，Class 1等高滤网覆盖率的无尘室，或是使用迷你洁净室将机台整个包住。 稀释：稀释是污染控制的另一种观念，多应用在洁净度不高的无尘室。例如在 Class 10000的无尘室，因为换气量不大，制程与人员产生的粒子就会在室内打转，要比较长的时间才会排出。因此新的干净空气只能稀释室内的微粒浓度，让室内洁净度控制在某一等级之下就可以了，不要求把人员与制程隔开。 气流模式：指的是流场型态，气流分布，气流的流向等性质。由于微粒的移除完全掌握在气流的模式，因此愈洁净的无尘室或是无尘区域，对气流模式的掌控就愈重视。基本上要先掌握气流模式，才能掌握洁净度。 单一流向型气流：气流以同一个方向移动，这种无尘室称为单一流向型无尘室，以前称为层流型无尘室，定义并无多大改变。高洁净度无尘室需要单一流向型气流。 非单一流向型气流：气流方向不受控制，就是所谓的乱流型无尘室，洁净度较低的无尘室都是用非单一流向型气流以节省成本。 As-built cleanroom（刚完工的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已完成的洁净室，但并没有设备及操作设备的人员。 At-rest cleanroom（准备中的无尘室）：已经完成且可以操作，所有相关支持设施皆已动作的无尘室，设备已加载并可以操作或已在运转，但没有操作设备的人员。 Operational cleanroom（操作中的无尘室设施）：一个已在正常运转的无尘室，所有相关支持设施皆已动作，设备及人员皆已加载，运转状况可以呈现和达到其正常的功能。 无尘室等级定义　 使用者在开无尘室的等级给供货商时，有以下几个小技巧。首先是等级定义的模式如下： Class X (at Y μm ) 其中 X 是无尘室的等级，例如 100 或 10000 等等，Y是粒径如 0.2μm , 0.5μm 等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争，以下是几个例子： Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm) Class 100(0.2μm , 0.5μm ) Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm ) 在 Classes 100 (M3.5) and Greater? (Class 100，1000，10000) ，一般看一个粒径即可。在 Classes Less than 100 (M3.5)? (Class 10，1 ) ，一般要看多几个粒径。 第二个技巧是规定无尘室的状态，例如： Class X (at Y μm )， At-rest 供货商就很清楚知道无尘室要在 At-rest状态下验收。 第三个技巧是自订微粒浓度上限，一般在 As-built 时无尘室都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如： Class 10000 (0.3 μm = 10000)， As-built?Class 10000 (0.5 μm = 1000)， As-built? 这样做的目的是确保无尘室在 Operational 状态时，依然有足够的微粒控制能力。 　 以下两个表是 Fed-Std-209E 的等级定义，和ISO-14644的等级定义。 Fed-Std-209E 洁净度定义? Class Name Class Limits 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm Volume Units Volume Units Volume Units Volume Units Volume Units SI U.S. (m3) (