洁净室空气过滤器系统检漏方法有关问题1.pdfVIP

， √洁净室空气过滤器系统检漏方法有关问题 Di i onLeak i SCUSSons TestofAi r Fi I ter usednCI eanrooms System 中国电子工程设计院严德隆 EIectrOnics Institute DeIong，YAN，ChinaEngineeringDesign 摘要：对当前国际上，洁净室HEPA／ULPA过滤器系统的检漏方法进行介绍并对其特点进行分析。对比当前 国内过滤器系统的检漏情况进行讨论。 关键词：扫描检漏整体检漏指认漏透过率扫描速度 指认漏预计粒子数 观察允许值随机误差 and for Abstract．Theintroduction oncurrentinternationa