第五节 电容式传感器.pptVIP

传感器原理与应用 第5章 电容式传感器 第5章 电容式传感器 电容式传感器是把被测量的变化转换成电容量变化的一种传感器。 电容式传感器不但广泛用于位移、振动、角度、加速度等机械量的精密测量，而且还逐步地扩大到用于压力、差压、液位、物位或成分含量等方面的测量。 第5章 电容式传感器 电容式传感器的优点：①功率小、阻抗高；②静电引力小、动态特性良好；③和电阻式传感器相比，电容式传感器本身发热影响小；④可进行非接触测量；⑤结构简单，适应性强，可以在温度变化比较大或具有各种辐射的恶劣环境中工作。 电容式传感器的缺点：①输出具有非线性；②寄生电容的影响往往降低传感器的灵敏度。 第5章 电容式传感器 5.1 电容式传感器的工作原理和结构 5.2 电容式传感器的主要特性 5.3 电容式传感器的信号调节电路 5.4 影响精度的因素及提高的措施 5.5 应用举例 5.1 电容式传感器的工作原理和结构 1.工作原理 如图所示，由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器, 如果不考虑边缘效应, 其电容量为： 5.1 电容式传感器的工作原理和结构 由式（5.1）可知，当d、A和er中任一个或某几个参数有变化时，就改变了电容C。因此电容式传感器分为三种类型： ①变极距型：极板相对覆盖面积A和相对介电常数er不变，改变极距d。可用于测量小位移。 ② 变面积型：极距d及相对介电常数er不变，改变极板相对覆盖面积A（改变覆盖长度或宽度）。可用于测量较大线位移或角位移。 ③ 变介电常数：极距d和极板相对覆盖面积A不变，改变相对介电常数er。常用于测量液位、材料的浊度或成分等的变化。 5.1 电容式传感器的工作原理和结构 2.结构形式 如图所示，给出了一些常见电容式传感器的原理结构形式。其中图(a)、(b)为变极距型；图(c)、(d)、(e)和(f)为变面积型；图(g)和(h)为变介电常数型。图(a)、(b)、(c)、(e)和(f)是线位移传感器；图(d)是角位移传感器；图(b)和(f)是差动式电容传感器。 5.2 电容式传感器的主要特性 5.2.1 特性曲线、灵敏度、非线性 5.2.2 等效电路 5.2.1 特性曲线、灵敏度、非线性 1.变极距型 由式（5.1）知，电容C与极距d呈反比，如图所示。显然这种传感器的特性为非线性。为使传感器能近似在线性下工作，必须限制动极板在一个较小的范围内变化，使DC与Dd的关系近似为线性。 5.2.1 特性曲线、灵敏度、非线性 当传感器的e和A为常数，初始极距为d时，其初始电容C为 5.2.1 特性曲线、灵敏度、非线性 将式（5.2）展开为级数 5.2.1 特性曲线、灵敏度、非线性 由以上各式可得出以下结论： ①欲提高灵敏度S，应减小起始极距d；但受电容器击穿电压的限制，而且增加装配工作的困难； ②非线性将随相对位移(即Dd/d)增加而增加，因此为了保证一定线性度，应限制动极板的相对位移量； ③为改善非线性，可采用差动结构。 5.2.1 特性曲线、灵敏度、非线性 当一个电容增加时，另一个电容则减小，它们的其 特性方程分别为： 对于差动结构，连接时让两电容并联，总输出为 5.2.1 特性曲线、灵敏度、非线性 5.2.1 特性曲线、灵敏度、非线性 5.2.1 特性曲线、灵敏度、非线性 式中 e2——云母的相对介电常数； e0——真空的介电常数，空气e1≈1; d2——云母片厚度； d1——空气隙厚度。 云母的介电常数为空气的7倍，云母的击穿电压不小于103kV/mm，而空气的击穿电压仅为3kV/mm。因此有了云母片，极板间的起始距离可大大减小。 那板间加入云母固体介质后，灵敏度与非线性误差会发生什么变化？ 5.2.1 特性曲线、灵敏度、非线性 如果空气气隙d1减小Δd1 ，电容将增大ΔC，则 电容变为： 电容相对变化为： 5.2.1 特性曲线、灵敏度、非线性 将(5.13)展开后，略去高次项，则电容相对变化 为： 则灵敏度为： 相对非线性误差为： 5.2.1 特性曲线、灵敏度、非线性 N1既与灵敏度有关，又与非线性误差有关，所以 其为灵敏度因子，又为非线性误差因子。 N1与d2/d1及ε2有关，当d2/d1固定时，N1与ε2成正 比；当ε2固定时，N1与d