有关Scrubber 中pH 控制Sensor 不预期故障的快速处理方式.PDF

有關Scrubber 中pH 控制Sensor 不預期故障的快速處理方式 1 2 楊文憲 葉彥侖 1 旺宏電子股份有限公司晶圓五廠 E-mail:wsyoung@.tw 2 旺宏電子股份有限公司晶圓五廠 E-mail:allenyeh@.tw 摘要 作上，中央排氣系統最常遇到的問題，不外乎為管 路、循環水流量、風車馬達震動、pH 控制異常及 半導體晶圓廠因製程所需，常有大量帶有酸/ 排水堵塞等，以上各類型的異常狀況，大部分都可 鹼等製程廢氣需排放，而在半導體業常使用的廢氣 以透過良好的監控管理及定時維護保養解決，惟獨 處理方式為濕式洗滌塔，其利用洗滌塔循環水的 循環水pH 控制異常大多屬於Sensor 本體的異常， pH 控制對製程排放廢氣進行酸/鹼中和吸附，以達 異常原因大多是 1.接點水氣干擾 2.電解液耗損 3. 空污防制之效。依據空氣污染防治法規定，酸性洗 玻璃鍍膜損壞4.Sensor Coating 5.電極衰減等 ，然 滌塔其循環水需控制pH7 ，而鹼性洗滌塔其循環 不論 Sensor 異常原因為何，往往都是發生於突然 水需控制 pH7 。廠務除每日需記錄其循環水pH 無任何跡象且無法利用定期保養、校正、清潔及更 值並需對其進行監視與控制，以符合主管機關核發 換等方式徹底解決，防止異常於未然 。 之設備操作許可證pH 登錄的許可範圍。而一般廠 統計本廠 2015~2016 年 Q1 就發生了六件因 務在保養洗滌塔pH sensor 時，不外乎定期清潔、 Sensor 損壞的異常單，因此開始有了如何改善避免 校正及更換等方式。但仍無法完全有效防止故障的 因Sensor 損壞而引起的pH 控制不良現象。 發生。當做為控制用之pH sensor 一但故障，其加 藥控制系統將失效，異常期間往往造成循環水超出 2. pH Sensor 偵測原理簡介 其空污法規的規定，造成防治上的短暫漏洞。因此 2.1 pH Sensor 量測: 本廠廠務利用電路設計並製作成品，可以使加藥控 制器於現場長時接收兩支sensor 的訊號，於異常發 pH 量測是未知溶液(H+)電位與已知參考電位之 生當下可迅速切換，大大縮短異常處理時間，也不 比較。當量測電極與參考電極置於同一溶液中，其 需停機，更不會發生違反法規的情況。其設計可廣 兩端點會因溶液中氫(H+)離子不同，參生電位差 泛推廣至所有有關的 pH 控制系統，例如化工製 (參考圖一示) 。透過”能施特方程式”推導。 程、廢水處理製程等等，故利用本次機會於研討會 中與各位先進分享。 E E0 2.303 RT log a  (1) F H 關鍵字：pH Sensor 、Auto Switch 1. 前言 E:總電位差(mV) E 參考電位 T:溫度(℃) R:氣體 0: 常數 F:法拉第常數 根據空氣污染防治法規定 ，尾氣處理採用濕 氫離子濃度越高，溶液越