激光反射镜与诱导透射滤光片工艺分析.PDF

应用光学 J．AppliedOptics 文章编号 ：1OO2—2082(2004)02一OO62一O3 激光反射镜与诱导透射滤光片工艺分析 荆玉兰，蒋向东，张怀武 (电子科技大学 微电子与固体电子学院，成都。610054) 摘 要： 随着光通信和光信息技术的迅速发展。介质高反射镜和窄带滤光片倍受人们关注，有机光学薄膜滤波器材料 及器件将 日益受到重视 。采用一个低通滤波器和高通滤波器在其通带叠合处便可产生一个优 良的窄带滤波器 。详细介 绍 了几种光学薄膜器件激光反射镜、诱导透射滤光片 (ITF)和微片式激光器的混合材料及制备工艺，并给出其设计方 法 ，对批量生产将有极大的促进作用。 关键词： 激光反射镜；ITF滤光片；微片式激光器 中图分类号 ：TN205—34 文献标识码 ：B ProcessAnalysisofLaserReflectiveM irrorand InduceTransmittanceFilter(ITF) JING Yu—lan，JIANG Xiang—dong，ZHANG Huai—WU (UniversityofElectronicScienceandTechnology。Chengdu，610054，China) Abstract：W iththedevelopmentoftheopticalcommunicationandopticalinformation，laserreflectivemirrorand1TF filteris catchingpeople’Sattention．Withthefurtherdevelopmentinthisfield，theorganicopticalfilm filtersanddeviceswillbelaid stressonincreasingly．Andaexcellentnarrow-bandfilterwillbeproducedwithalow—passandahigh-passfilteratthepassband congruence． In this paperseveralopticalthin film devicessuch as laser reflective mirror，ITF filter。microchip laserare introductedandtheirfabricatedprocessaswellasdesignmethodaregiven。which isveryusefulintheopticalapplicationfield． Keywords：laserreflectivemirror；ITF filter；microchiplaser 引言 研究者要解决的主要问题 。用一定比例固相混合膜料 近年来激光技术有了长足的发展 ，自由电子激光 镀制激光反射膜 ，使激光反射镜的激光破坏阈值大幅 器的高效率波长转换及高功率紫外激光器新激光光 度提高是近期开发的热点。 源的出现，对谐振腔和周边光学系统光学镀膜元件的 微片式激光器 (MicrochipLaser)是近年来较热 性能提出了前所未有的要求。在低增益激光器和高功 的研究领域之一。法国国家固体所和乌克兰Carate公 率波长转换等应用中，超低功耗激光反射镜成为重要 司在微片式激光器反射式腔体薄膜方面取得了突破 的光学器件。它要求激光反射膜必须具备吸收小、散 性进展，并已使该激光器接近应用。该腔体膜堆采用 射少、反射功率大和耐激光破坏阈值高等优点。为了 高低折射率膜堆，石榴石晶体激发元激发的激光在两 达到这一 目的，人们在改进实验设备上花费了很大的 个膜堆之间反射谐振 ，最后射出。由于此激光器的工 功夫和代价 ，但收效不大 。近年来 ，对转向膜