日立离子研磨仪IM4000液氮制冷加工介绍.PDFVIP

Marketing 天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3 层 TEL:010 FAX:010 E-MAIL:techcomp@techcomp.cn 日立离子研磨仪IM4000 液氮制冷加工介绍 离子研磨是扫描电镜的样品前处理过程，可以应用在很多领域，如半导体、金属、 地矿、陶瓷、有机材料等等。日立离子研磨仪 IM4000 最特出的特点是可以实现平面和 截面研磨双功能，并且很高的加工效率。本文主要说明 IM4000 的选配附件——液氮制 冷的应用。 图 1 是 IM4000 液氮制冷机型的外观图 ，与普通机型相比，液氮制冷机型增加了装 液氮的杜瓦瓶和控温单元。杜瓦瓶中装入液氮并与样品台相连以冷却样品，控温单元可 以对温度进行控制。 图 1 IM4000 液氮制冷机型外观图 图 2 是含铅焊锡的加工实例，如果不使用液氮制冷直接进行离子研磨，由于离子束 照射样品导致局部温度升高，加工后的样品表面熔化并出现孔洞，Pb 和 Sn 的