96学年第一学期微奈米感测技术平时作业一.DOC

100學年度第學期『技術』平時作業一 摘要報告 班級： 學號： 姓名：具結構化電極的軟性壓電式觸覺感測器軟性壓電式觸覺感測器(PVDF)上，並以矽橡膠製作結構黏接在電極上，以激振器(shaker)與力規(force sensor)達到動態週期性的微小力作為觸發源。應用相當普遍，包含機器人、資訊電腦領域、工業生產自動化、生醫領域、遊戲機之搖桿或手把等方面都可見觸覺感測器利用，極具商業性附加價值。從而做出判斷要執行什麼樣的動作 作者：莊承鑫 羅文濱 南台科技大學機械系 暨 微奈米科技研究所 計畫編號: NSC95-2221-E-218-013 摘要. 軟性觸覺感測器(Tactile Sensor)其可撓曲的特性可應用於人體生理監控的應用例如:脈搏、心跳、血壓等。我們運用微系統製程(微機電製程)，設計製作不同尺寸結構PVDF陣列式觸覺感測器，並利用激震器(shaker)與力規(force sensor)建立定量的週期力量測平台，此陣列式觸覺感測器經由電荷放大器，將訊號放大並以類比多工器擷取訊號至人機介面程式，可即時量測接觸力量大小與分布，本研究將此感測器成功應用於形狀辨識功能，有助於機器人抓取物品之準確性。 關鍵字: 觸覺感測器、Lab VIEW、PVDF、flexible electrics 一、前言 最近幾年對於機器人的研究日漸創新，對於機器人之機電系統結構與控制方面已經相當成熟了。然而在實現可靠抓取動作過程中，除了對操作機械抓取位置的視覺引導外，還需要對所施加之力、力矩與滑動信號進行測量回饋補償。對於未知物體還需要獲得關於物體的表面型態、物理性質和組織等訊息。因此這就需要具有人類觸覺感測功能的感測器[1]，觸覺主要滑覺、壓覺與溫度敏感等功能所構成。在機器人學(Robotics)上，觸覺感測器是控制機器人動作(例如：抓取物體）與運動時不可或缺的感測器，亦可用於娛樂用機器寵物(如SONY的AIBO?機器寵物狗)並作為人與機器寵物溝通的介面，由於觸覺感測器的應用非常廣泛，但至今並沒有很完整的規範來定義觸覺感測器的敏感度與效能，一般較廣為接受的觸覺感測器，基本特 性必須與人類皮膚的觸覺相當例如空間的解析度需達到1mm，量測力量的範圍 0.01~10N，分辨率0.01N，頻寬為100 Hz並且具有一定的線性度。 在1969年日本學者H.Kawai[2]發現經過高倍率的拉伸與高電場下極化與真空蒸鍍金屬電極後的聚偏二氟乙烯(PVDF)薄膜具有明顯的壓電特性，由於它具有柔韌、極薄、質輕與高韌性等機械特點，可以製成多種厚度與較大面積的陣列元件。在觸覺應用中主要問題是其壓電訊號對溫度敏感且易與熱電訊號偶合再一起，再者不能測純靜態訊號，過去已有許多研究者利用壓電薄膜製作觸覺感測器，Dario et al. [3, 4]於1985提出以高分子壓電材料(PVDF)製作人工觸覺感測系統，利用壓電材料特有壓電(piezoelectricity)與焦電(pyroelectricity)性質，偵測接觸力、振動之變化。Edward S. Kolesar等人[5]在1990年代初期將40um厚的PVDF整合在矽基積體電路上，成功地製作出8x8的觸覺感測器陣列，此觸覺感測器具有高靈敏度(0.008N)，且在0.008-1.35N間有極佳的線性反應，並再50ms內掃描整個64點之數據，韓國的Chonbuk大學的Kee-Ho Yu研究團隊[6]在2003年使用軟性電路板技術成功地在聚酯(polyester)軟板上製作出8x8的軟性觸覺感測器陣列，但是其最小感測壓力卻僅達到0.7N，既無法達到人類皮膚的觸覺程度，也遠不及Kolesar的在矽基板所製作的觸覺感測器。故本研究以結構化電極之概念提升軟性觸覺感測器之靈敏度。 2. 矩陣式軟性觸覺感測器之製作 觸覺感測器元件結構基本上為一三明治結構，由兩層軟性基板將感測之壓電材料(PVDF)與結構化電極夾住。首先設計每一電極之直徑約為1mm，而每個電極之間的間距為4mm 所展開的矩陣式電極，電極光罩如圖(一)所示，元件之製作流程如圖(二)說明如下: 1. 以市購厚度為52μm的PVDF材料作為壓電薄膜(Measurement Specialties Inc.)，將使用丙酮(Acetone)清除原鍍上之銀(Ag)電極，再將試片用D.I. Water 洗淨最後用氮氣槍(N2 Gun)吹乾。 2. 將無電極之壓電薄膜利用電子束蒸鍍機(Evaporator)將上表面鍍上一層厚度1000? 鉻(Cr)金屬薄膜。 3. 使用光阻塗佈機旋佈光阻S1813。50℃軟烤5 分鐘後，利用光學微影製程製作陣列式之圓形電極之直徑為1mm。 4.顯影步驟共計兩分鐘，首先靜置1 分鐘使光阻充分吸收顯影液，再水平搖晃玻璃皿約