Duhocamis 放电特性之空心阴极与热阴极的协同效应 - 中国表面工程.PDF

第 30 卷  第 4 期 中  国  表  面  工  程 Vol. 30 No. 4 2017 年 8 月 CHINA SURFACE ENGINEERING August 2017   doi: 10.11933/j.issn.1007−9289.20170221002 Duhocamis 放电特性之空心阴极与热阴极的协同效应 赵渭江，付东坡，巩玲华，杨向军，丁杏芳，刘克新 (1. 北京大学 重离子物理研究所，北京 100871；2. 北京大学 核物理与核技术国家重点实验室，北京 100871) 摘 要: Duhocamis(双空心阴极金属离子源)是在GSI间热阴极PIG离子源基础上，利用空心阴极圆筒取代空心阳极圆 筒，磁镜场取代均匀磁场的强流金属离子源。通过系列变化空心阴极与间热阴极电源电压的弧放电试验，了解其对 离子源工作及金属等离子体形成的贡献和影响。试验结果分别给出了空心阴极与间热阴极弧放电特性曲线，它们的 弧压对弧流关系具有不同的弧阻抗特性；通过磁分析器对等离子体中各种离子成分比例的分析，进一步显示出空心 阴极与间热阴极弧放电两者相互强化和联动的协同效应；尤其空心阴极电位从零开始变化的弧放电试验，揭示了离 子源从PIG空心阳极放电向双空心阴极放电转换的过程；协同效应不仅证实空心阴极作为赖以产生金属离子的溅射电 极，而且对于确立离子源工作模式与优化产生所需金属离子的放电条件至关重要。 关键词: 离子源；金属离子束；潘宁放电；空心阴极 中图分类号: O461.2 文献标志码: A 文章编号: 1007−9289(2017)04–0008–06 Synergistic Effects of Hollow Cathode and Heated Cathode on Duhocamis Discharge Characteristics ZHAO Wei-jiang, FU Dong-po, GONG Ling-hua, YANG Xiang-jun, DING Xing-fang, LIU Ke-xin (1. Institute of Heavy Ion Physics, Peking University, Beijing 100871;  2. State Key Laboratory of Nuclear Physics and Technology, Peking University, Beijing 100871) Abstract: The Duhocamis (dual hollow cathode metal ion source) was derived from the indirectly heated cathode GSI-PIG ion source, which was modified by introducing a hollow cathode cylinder and a magnetic bottle-shaped field to replace a hollow anode cylinder and a homogeneous magnetic field. To understand the different discharge characteristics of Duhocamis than that of PIG, a seri