测控传感器第5篇压力侧量.ppt

在大气压和外部未知压强共同作用下，膜片产生的形变(位移)量取决于它的形状、结构、尺寸、厚度和材料等因素，因此它是一种压差式传感器。 这种传感器压强和位移之间的精确关系随每一种设计的不同而不同。它用来检测很小的位移量，通常为1mm以内。 这种仪器通常需要单个地进行标定。 用膜片作为电容器的一个极板是一种非接触侧量位移的方法，输出的电信号具有非常高的分辨力，尤其适合于各种小位移的测量。 图示为一个膜片与电容器的结合，电容器的一个极板被固定，另一个极板就是膜片。电介质通常是空气。 当压强变化时，膜片会产生与它成比例的形变，电容器的电容C与两极板间的距离成反比，即： C∝1/d 在电容器的两极接入调理电路，电容值的变化会引起愉出电压的变化，该电信号经过调制并标定为压强的形式显示出来。 5.2.4 压电式压力传感器 图所示为压电式压力传感器的原理图。这种传感器类似于利用薄金属或半导体膜片检侧压强变化的电容式压力传感器。 当其所受压强变化时膜片会挠曲变形，从而会在压电晶体上产生一种应变，在晶体表面会出现与其应变量成正比的极性相反的电荷量。 这种压力传感器的压电晶体通常是石英，且被放置在密封装置中，并引入了由集成电路技术制成的信号调制电路。 压电式压力传感器可以工作在高温下，其温度特性非常好，而且其体积能做得非常精小。 主要优点是动态响应迅速、且工作范围宽。 它还具有很高的灵敏性和很高的精度，以及良好的重复性和很小的迟滞误差。 该传感器不适合静态力的测量。 被广泛应用于侧量发射炮弹时炮管内的压强。 5.2.5 半导体压阻式和应变片式传感器 半导体压阻式压力传感器工作原理类似于压电式压力传感器。 在这种传感器中，硅膜片是核心部件。 是基于压阻效应工作的一种压力敏感元件。 当硅膜片受外力作用产生形变时，其电阻值也将发生相应变化，称为压阻效应。 将制作成一定形状的N型单晶硅作为弹性元件，选择一定的晶向，通过半导体扩散工艺在硅基底上扩散出4个P型电阻，构成惠斯登电桥的四个桥臂。 从而实现了弹性元件与变换元件一体化，这样的敏感器件称为压阻式传感器。 压阻式传感器主要用于测量压力、加速度和载荷等参数。 膜片上的四个压敏电阻构成了单臂电桥，如图所示。 当压强被加到膜片上时，它会引起电阻应变片的应变，其压敏电阻与其应变成比例变化，因此输出电压也相应变化。 压阻式压力传感器用于要求有良好的可重复性、高精确度、低迟滞误差和长期稳定的场合。 一个典型的应用是测量水池底部的压强，这种压强直接与水的深度有关，压力传感器构成了液位测量系统的一部分。 压阻式传感器输出信号调理 5.3 气压表 气压表是一种专门用于测量大气压的传感器。它们必须很灵敏，且可以测量绝对压强。 主要用于气象领域。 高气压通常与晴朗的天气对应，而低气压通常与恶劣的天气对应。 气压表主要有两种基本类型：液体玻璃管气压表和无液气压表。 液体玻璃管气压表由一个被固定在背面板上的U形管组成。 一端管柱形成一个开口的储液池，通过一个小孔与大气压相通。另一端为细管，含有的液体量与储液池相比要少。 与倾斜管压力计一样，通过一端管柱内的液体所对应的刻度可以读出大气压，管柱这一端是真空的并被密封。 5.3.1 液体玻璃管气压表 可以用气压表侧量绝对压强，气压表的衡量结果是两个管柱之间的压差。 真空管产生的压强将远低于当地的实际大气压。作用在含真空端管柱的压强是可以忽略的，在气压表中液体的主要压力是大气压。在玻璃管中液体的高度与大气压成正比。 储液器的液面可以用玻璃管中的液体来调整，这样，可调节到与读数前的零刻度相对应，以提高侧量准确度。 气压表玻璃管中的液体有几种选择，它们都能实现精确测量，但都较笨重，或是很脆弱的，而且其精确度受温度变化的影响比较显著。 通常它们放置在一个固定的位置，并经常用来标定其他的压力传感器，或在实验室里作为一种参考基准。 5.3 .2 无液气压表(膜盒式气压表) 借助一个密封的金属膜盒来测量大气压的变化。膜盒的一个或两个面是膜片，膜盒内为部分真空。 膜盒内部的压强低于外面的大气压，而且是不变的，所以它对大气压的变化是敏感的。 如果大气压增大，膜片变形且膜盒变得展平；如果大气压降低了，膜盒就会膨胀。 这种位移通过一个强力弹簧经过柱杆压在膜盒上就可以检测到，然后由齿轮和杠杆进行机械放大，最后将其传送给一个标定好的刻度盘上的指针，由指针显出气压。 无液气压表比液体气压表的读数更简单，占用空间更小，测量精度不会因温度变化而受到明显的影响。 其精度较低，主要是受其机械传动部分精度的影响，实际上，无液气压表通常是根据液体气压表进行标定的。 无液气压表常常被家庭使用。它们很多以非国际单位进行标定，像mmHg。也有用几