上海大学物资供应中心采购第SB20061012-013号信息-双工位.docVIP

上海大学公开邀请招标购置 “电子束蒸发镀膜机”的公告 招标编号：SDSB-10005 根据《中华人民共和国政府采购法》《上海市政府采购招标暂行办法》和《上海大学仪器 设备招、投标管理办法》，上海大学环化学院、纳米化学与生物研究所表面纳米结构课题组因教 学、科研发展需要，现公开邀请招标采购电子束蒸发镀膜机。 设备需求 1. 设备名称： 电子束蒸发镀膜机 2. 技术要求： 总体要求电子束蒸发镀膜机主要完成一些金属特别是难熔金属及一些氧化物材料的镀膜，采用圆形立式优质不锈钢真空腔室，电子枪和电阻蒸发系统，采用分子泵和机械泵组合的高真空泵机组，辅助离子源沉积，配石英晶振膜厚仪控制膜厚，基片台具有旋转、加热功能。采用PLC和触摸屏自动、手动集中控制，水冷保护系统，机架采用整体设计。 真空室 真空室立式前开门，全为不锈钢材料，内表面抛光处理，表面喷玻璃丸处理。真空漏率≤10-7Pa.L/。水冷，尺寸为内径Φ450-500mm，高550-600mm，各真空阀门为气动阀门。 真空室配有不锈钢防污屏蔽板，抽气口挡板为百叶窗式防污罩，以方便拆卸和清洗。 真空室门上配有Φ100观察窗2个，窗片配铅玻璃，观察窗内有遮挡活动板，外面配有防辐射玻璃和可以翻转的暗色玻璃。 真空室采用不锈钢水冷槽通水冷却，保证冷却效果。 另外备有两个接口。 电子枪和电阻蒸发源分别有自己的气动挡板。底板预留2个Φ32.5标准孔