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弯曲光纤针尖及其法向力压电探测技术 - 光子学报
30 1Vol.30 No. 1
2001 1ACTA PHOTONICA SINICA January 2001
*
张工力 白永林 党 群 侯 洵
( , 710068)
( , 710069)
本文介绍一种弯曲光纤针尖及其法向力压电探测 新技术 . 与目前普遍采用 方
法不同, 弯曲针尖 制作是先利用电阻丝加热, 将光纤弯曲成所需 角度,然后再在缓冲氢
氟酸中腐蚀成针尖, 得到曲率半径为300 , 弯曲角度为120°,长度为500 弯曲针尖.
同激光或电弧熔拉、弯曲 方法相比,这种方法工艺简单, 成本低廉. 由弯曲针尖与蜂鸣器
压电片组成 悬臂,利用压电片 正、逆压电效应实现弯曲针尖法向力 非光学法探测. 实
验表明,这种弯尖法向力 探测较直尖切变力具有更高灵敏度,探测距离提高了一倍以上,
给实际应用带来很大 便利.
弯曲光纤针尖; 电阻丝加热; 化学腐蚀; 法向力; 压电探测
0
.
, (Near-field Scanning ,
Optical Microscope-NSOM ) ( Ato ic Force Microscope, AFM)
25
. , NSOM . , ,
,NSOM
( shear force) , ( lateral force) .
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NSOM ,
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( nor al force) , , 0. 6 1000 ,
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6
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7
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* “九五”攀登计划资助预选项目子项目
收稿日期:2000-05-07
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