年成人高考高起点数学试题及答案汇总(19992011年).pdfVIP

2009年 10月 　　　　　　　　　　　　　　　　　云南化工 　　　　　　　　　　　　　 　　　　　O ct. 2009 　第 36卷第 5期 　　　　　　　　　　　　Yunnan Chem ical Techno logy　　　　　　　　　　　　　　Vo l. 36,No. 5　 微电子工业对超净高纯化学品的质量要求 杨 　昀 (云南省化工研究院 ,云南 昆明 650228) 摘 　要 : 　我国为微电子工业配套使用的高规格超净高纯化学品一直依赖进 口,此类化学品研发中的核心技 术为德国、日本 、美国等国家所垄断 ,其关键技术的国内外文献报道甚少 。为便于国内相关研发单位开展研究工 作 , 围绕微电子工业对超净高纯化学品的质量要求 ,搜集 、整理并分析了近二十年来的相关文献 ,研究了不同规模 集成电路对这类化学品纯度 、洁净度的质量规格要求 ,建议 :制定有全球竞争力的超净高纯化学品国家标准 ;建立 相关产品生产管理制度和实施细则 ;建立能与国际资深实验室进行测试技能交流的有世界公信力的分析检测平 台。 关键词 : 　电子级 ;超净 ;高纯化学品;高纯试剂 ;MO S试剂 ;湿化学品;工艺化学品 中图分类号 : 　TQ420　　文献标识码 : 　　　文章编号 : 　1004 - 275X (2009) 　　当今世界集成 电路水平 已由微米级 ( 1. 0 过程 ,支撑并推动着微电子技术的飞速发展 ,是微 μ ) ( μ ) [ 10, 11 ] m 、亚微米级 1. 0 ～0. 35 m 和深亚微米级 电子工业的关键性化工材料 。 ( μ ) ( 0. 35 m 以下 进入到纳米级 90 ～65 nm ,甚至 电子集成电路的制程对超净高纯化学品的要 32 ～22 nm ) 阶段 [ 1, 2 ] 。2007 年全球工艺化学品的 求高且使用量大 ,但该类化学品贮存有效期短 ,其 市场需求达到 190 亿美元 , 20 12 年前的年均增速 纯度和洁净度对集成电路的成品率 、电性能及可 将达到 7. 0 ～7. 5% [ 3 ] 。“十五 ”期间 ,我国电子化 [ 2 , 415, 17 ] ( ) 靠性影响重大 。随着电子集成电路 IC 向 学品的年均增长率超过了 20% , 到 20 10 年 ,我国 大规模和超大规模 、极大规模的发展 ( IC →L SIC → 的电子化学品市场规模将超过 200 亿元 ,成为化 VL SIC →UL SIC) ,芯片集成度越来越高 , 晶圆表面 工行业中发展速度最快 、最具活力的产业之一 [ 4 ] 。 的光刻线条越来越精细 , IC 的更新换代速度越来 ( 被称作电子级化学品 E lectron ic grade Chem i 越快 , UL SI对超净高纯化学品也提出了越来越严 ) ( cals 的高纯化学品 ,尤其是超净高纯化学品 U ltra 格的质量要求和分析检测要求 。 ) clean and H igh pu rity Chem icals 是为微 电子工业 我国对高规格的超净高纯化学品的需求一直 配套的精细化工产品 ,是一种对原料 、纯化方法 、 依赖进口。国际上掌握超净化学品研发核心技术 容器 、环