32.均热板制程开发之研究.PDFVIP

32. 均熱板製程開發之研究 蘇程裕 、褚伊銘 國立台北科技大學機電整合研究所 摘要 將上下蓋接合後 ，注水抽真空後封 口 。對微結構的 製作探討微結構的製程差異對均熱板熱阻之影響 ， 本研 究 擬 利 用 兩相 熱 傳 原理 ，改善冷 凝 區微 在性能檢測作一系列研究探討以增進均熱板的傳導 結構 ，分析微結構製程參數探討對均熱板性能的影 效能 。 響 。首先分別使用機械加工溝槽 、噴砂 、噴銲(銅) 等表面粗化方式用於均熱板冷凝區 ，並探討微結構 二、實驗方法 性能參數(表面形貌 、粗糙度 、潤濕性)之關係 ，藉由 研究結果選擇製作均熱板冷凝微結構 ，並對均熱板 2.1 毛細結構 性能(熱阻)進行分析量測 。 本研究是以機械加工溝槽 、噴砂 、噴銲(銅) 等 文 中於均熱板的熱阻探討 中發現潤濕性對微結 方式用於均熱板冷凝區 ，研究冷凝區維結構對均熱 構有相關影響 ，疏水性的表面熱阻低於親水性表面 板熱 性能 之影 響 。均熱 板 的製作 主 要可 由毛細結 與具吸付流體的網 目結構 ，且對於冷凝區無毛細結 構 、容器及工作流體三個部份討論 ，蒸發區毛細結 構並不影響均熱板的使用角度 。 構 皆使用銅網燒結的方式製作 ，冷凝區毛細結構利 用不 同加工方式製作不 同孔隙結構 ，透過孔隙率與 關鍵字 ：冷凝區 、表面粗化 、潤濕性 潤濕性的分析來選擇加工參數 ；由於銅具有高熱傳 導性 、價格較低與方便加工等特性 ，故容器採用無 一、前言 氧銅製作 ，工作流體選擇使用具高表面張力 、高潛 熱與操作溫度範圍廣的純水 。 1942年R. S. Gaugler [1] 發表首篇有關熱管的文 本研究分別使用C NC铣床 、噴砂機和熔射系統 獻 ，到1963年G. M.Grover [2] 所申請的專利中才首度 進行微結構製作 。溝槽型以90 ° 的 中心鑚加工 出兩 使用 「heat pipe （熱管 ）」一詞 ，熱管最初被應用 種流道型式與控制溝槽深度而改變的寬度 、密度 ； 於太空技術上的元件散熱 、衛星向光面和背光面的 噴砂則以氧化鋁砂與玻璃砂在相 同壓 力與時間下粗 熱均衡 。之後熱管技術越來越成熟 ，漸漸符合一般 化 ；噴銲方式利用不 同的噴射壓力控制成型銅粉的 市面上發熱元件之散熱要求 ，在1996年 ，美 國RCA 粒徑與孔徑大小 。 公司首先將熱管商品化 ，從此熱管才廣泛的應用於 工業上[3]