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- 2017-09-06 发布于天津
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第卷第期光学精密工程年月文章编号高性能偏振膜的研制朱美萍孙建张伟丽赵元安刘晓凤赵娇玲易葵邵建达中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室上海摘要综述了国内外科研人员在高性能偏振膜的研制方面开展的工作主要涉及偏振膜光谱性能抗激光损伤阈值和膜层应力控制等方面的研究针对我国神光系列装置对偏振膜的性能要求简述了中国科学院上海光学精密机械研究所采用电子束沉积技术在光谱性能损伤阈值和面形精度三个方面开展的研究工作给出了在薄膜设计制备和后处理等方面进行的研究和取得的进展结合上述研究成果得到了低缺陷密
第 卷 第 期 光学精密工程
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