传感器原理与应用(第三版)第3章.pptVIP

传感器原理及应用;第三章 电容式传感器;第三章 电容式传感器;3-1 电容式传感器的工作原理; 根据改变参数不同，电容传感器一般分三种类型 一、变面积（S）型（多用于检测位移） A：角位移式电容传感器 当动片有一角位移 时，覆盖面积S 发生变化，电容C随之改变 当 ℃时 S：半圆面积 当 ℃时 电容 与角位移 呈线性关系。 灵敏度 ： ; B：线位移式电容传感器 当 时 S：初始两板覆盖面积 当 时 电容 与位移 呈线性关系 灵敏度 对比上述两种电容传感器可得如下 结论： 增大C0可提高灵敏度（C0：初始电容）； 或 变化不能太大，否则边缘效应会引起较大非线性误差。;二、变介电常数型（ε） 因为不同介质的介电常数不同，若两极间介质发生变化，则电 容C随之改变。这种传感器常用于检测液面高度，片状材料的厚度。 A：如下图所示：在液体中放置2个同心圆柱状极板，检测液面变化 。前提条件是该液体不导电，若液体导电则极板需要绝缘。 讨论如下： 设：〈1〉液体介质常数 ；气体介质常数 〈2〉该电容可视为两个电容器并联即 （C1与C2的 分界处是液面处） ; 则：气体介质间的电容为C1 液体介质间的电容为C2 总电容量为C： 令： ： （均为固定值） 则上式为： 结论：电容量C与液位高度h1成线性关系;B：另一种变介质传感器，如下图所示 极板间两种介质厚度分别是d0（设为空气）和d1，则此传感器的 电容等于两个电容C0和C1相串联，即： 结论： 当介电常数 或 发生变化 时，C随之变化； 当 为空气，d1不变， 为待测 时，即是介电常数测量仪； 若介电常数 不变时，d1为待测时，即是厚度测量仪。;三、变极板间距（d）型 如下图所示：极板1固定，极板2随被测量变化而移动时，两极 板间距d0变化，引起电容变化。C随d变化的函数关系为双曲线，如 图示： 设：动片未动时，间距为d0，初始电容为C0，若介质是空气 当间距减小 时，电容量变为（间距 减小，电容增加）; 即： （上式两边同除Co即得） 将上式展开为级数，得（ 条件）（实际是 展开） 忽略高次项得（条件是 时） 相对非线性误差表达式为： 灵敏度： ;结论： 在 时，电容的变化量 与极板间距变化量 呈近似线性关系， ； 传感器非线性误差较大。例如： ； 仅适用于微小位移测量； d越小，灵敏度K越高，但同时 会增加（因 变大）。 根据上面讨论，所以在实际应用中多采用差动结构，如下图， 当动片上移 ，则 ， 同时C2减小 ，两者初值为C0 则有：; 差动输出电容为： 同样当 时，忽略高次项得： 其非线性误差 为： 结论： 差动结构使灵敏度提高一倍； 非线性误差减小一个数量级； 变间隙式本身是双曲关系，但满足 时，可取曲线一小段作近似直线看待、使用。;电容传感器实物：;3-2 电容式传感器的测量电路; 阻抗分别为： Zc与ZP并联： 串联：即总阻抗或称等效阻抗 即： 其中： 为激励电源角频率 由于Rp很大，上式简化后得： 实际阻抗 对比电容阻抗公式： （ 称等效电路）;得等效电容： 其中： 称电路谐振频率（LC谐振回路的谐振频率） 又：当某参数变化- 增量，而引起等效电容变化增量 可由等效 电容计算式求得 （实际为 ）（条件是 很小） 则电容的相对变化量为： 上述表达式说明： 传感器的标定和测量须在同样条件下进行, 内含有外部的L， 它与连线长短，连接方式都有关。即导线长度、连接方式等条件在 测定和标定时应一致。;二、测量电路 电容传感器的电容值一般十分微小（几皮法至几十皮法），如 此