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考虑电荷交换的栅极区离子流数值模拟
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真空与低温 第 卷 第 期
198 Vacuum ＆ Cryogenics 2011 12
年 月
考虑电荷交换的栅极区离子流数值模拟
1 2 1 1
， ， ，
刘 洋 李 娟 楚豫川 曹 勇
(1． ， 518055 ;
哈尔滨工业大学深圳研究生院 广东深圳
2 ． ， ， 730000)
兰州空间技术物理研究所 真空低温技术与物理重点实验室 甘肃兰州
: (IFE－PIC－MCC) ，
摘 要 使用基于嵌入式有限元质点网格与蒙特卡洛 的三维等离子体离子模拟程序 模拟离子
。 ， ，
在离子光学系统中的运动 计算了离子密度的空间分布 加速栅极上的冲击电流 加速栅极下游表面及孔壁的腐
。 : ; ，
蚀 计算结果表明 加速栅极的腐蚀主要来源于交换电荷离子 由于交换电荷离子对加速栅极的冲击作用 加速栅
“ ” ， “ ” 。
极下游表面会形成 坑 形腐蚀 加速栅极孔壁会形成 凹槽 形腐蚀 数值仿真为离子光学系统的设计提供了有效
手段。
: ; ; ; ;
关键词 离子推力器 离子光学系统 冲击电流 电荷交换 栅极腐蚀
中图分类号:V439 +． 1 文献标识码:A 文章编号:1006－7086 (2011)04 －0198－07
DOI :10 ． 3969 /j ． issn． 1006－7086． 2011． 04 ． 003
NUMERICAL SIMULATION OF CHARGE EXCHANGE IONS FOR ION THRUSTER
LIU Yang1 ，LI Juan2 ，CHU Yu－chuan1 ，CAO Yong1
(1． Harbin Institute of Technology Shenzhen Graduate School ，Shenzhen 518055 ，China ;
2． Science and Technology on Vacuum ＆Cryogenics Technology and Physics Laboratory ，
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