考虑电荷交换的栅极区离子流数值模拟.PDF

17 4 真空与低温 第 卷 第 期 198 Vacuum ＆ Cryogenics 2011 12 年 月  考虑电荷交换的栅极区离子流数值模拟 1 2 1 1 ， ， ， 刘 洋 李 娟 楚豫川 曹 勇 (1． ， 518055 ; 哈尔滨工业大学深圳研究生院 广东深圳 2 ． ， ， 730000) 兰州空间技术物理研究所 真空低温技术与物理重点实验室 甘肃兰州 : (IFE－PIC－MCC) ， 摘 要 使用基于嵌入式有限元质点网格与蒙特卡洛 的三维等离子体离子模拟程序 模拟离子 。 ， ， 在离子光学系统中的运动 计算了离子密度的空间分布 加速栅极上的冲击电流 加速栅极下游表面及孔壁的腐 。 : ; ， 蚀 计算结果表明 加速栅极的腐蚀主要来源于交换电荷离子 由于交换电荷离子对加速栅极的冲击作用 加速栅 “ ” ， “ ” 。 极下游表面会形成 坑 形腐蚀 加速栅极孔壁会形成 凹槽 形腐蚀 数值仿真为离子光学系统的设计提供了有效 手段。 : ; ; ; ; 关键词 离子推力器 离子光学系统 冲击电流 电荷交换 栅极腐蚀 中图分类号:V439 +． 1 文献标识码:A 文章编号:1006－7086 (2011)04 －0198－07 DOI :10 ． 3969 /j ． issn． 1006－7086． 2011． 04 ． 003 NUMERICAL SIMULATION OF CHARGE EXCHANGE IONS FOR ION THRUSTER LIU Yang1 ，LI Juan2 ，CHU Yu－chuan1 ，CAO Yong1 (1． Harbin Institute of Technology Shenzhen Graduate School ，Shenzhen 518055 ，China ; 2． Science and Technology on Vacuum ＆Cryogenics Technology and Physics Laboratory ，