新型金黄色富硅氮化硅阳光控制膜的制备及性能.PDFVIP

第 44 卷第 4 期 硅 酸 盐 学 报 Vol. 44 ，No. 4 2 0 1 6 年 4 月 JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY April ，2016 DOI ：10.14062/j.issn.0454-5648.2016.04.16 新型金黄色富硅氮化硅阳光控制膜的制备及性能 1 1 1 2 贾绍辉 ，张家震 ，张淮凌 ，杨田林 (1. 威海中玻镀膜玻璃股份有限公司，山东 威海 264200 ；2. 山东大学威海分校，山东 威海 264209) 摘 要：采用磁控溅射方法，以纯 Si 作为靶材，Ar 和 N2 为溅射气体在 3 300 mm 宽幅的玻璃基片上制备出大面积均匀的金 黄色阳光控制膜。利用 X 射线衍射、X 射线光电子能谱和椭偏仪对不同工艺参数下薄膜的结构、组成和光学参数进行了表征。 结果表明：金黄色阳光控制膜的主要成分为富硅氮化硅相；溅射功率和溅射气体通过影响薄膜中硅/氮化硅含量比而改变薄膜 的外观颜色。优化工艺条件下制备的金黄色阳光控制膜的色度指标为L *=62.4，a*=4.5，b*=31.6，遮阳系数可达 0.59，具有 良好的装饰和节能效果。 关键词：阳光控制膜；氮化硅；磁控溅射；玻璃基片 中图分类号：TB321 文献标志码：A 文章编号：0454–5648(2016)04–0566–06 网络出版时间：2016–03–18 16:07:24 网络出版地址：/kcms/detail/11.2310.TQ1607.016.html Preparation and Properties of Golden Silicon Nitride Solar Control Films 1 1 1 2 JIA Shaohui , ZHANG Jiazhen , ZHANG Huailing , YANG Tianlin (1. Weihai CNG Coated Glass Holding Co. Ltd, Weihai 264200, Shandong, China; 2. Weihai Campus of Shandong University, Weihai 264209, Shandong, China) Abstract: The golden solar control film was prepared on the 3300 mm wide glass substrate by a magnetron sputtering method with pure Si as a target material and Ar and N2 as sputtering gases. The structure, composition and optical parameters of the film prepared at different process parameters were characterized by X-ray diffraction, X-ray photoelectron spectroscopy and ellipsometer, respectively. The results show that the main component of the golden solar control fi