基于PLC的真空溅射镀膜机控制系统设计.pdfVIP

维普资讯 第 29卷第 1期 煤 矿 机 械 V01．29No．1 2OO8年 1月 CoalMineMachine1 Jan．2008 基于 PLC的真空溅射镀膜机控制系统设计 刘进志，郝长生 ，刘希太 (石家庄铁道学院机械工程分院，石家庄 o5oo43) 摘 要：真空溅射镀膜技术及设备在当今和未来都拥有十分广阔的应用领域和发展前景。由 于采用继电器一接触器的镀膜机存在一些缺陷和不足，设计 了基于PLC的真空溅射镀膜机。几年 的实践证明：改进后的镀膜机工作效率有很大提高，设备维修率也大大降低，它为同类系统的设计 提供 了参考。 关键词：继电器一接触器控制；PLC控制；真空溅射镀膜机 中图分类号：TP39 文献标志码 ：A 文章编号：1003．0794(2008)01．0179．03 DesignofControlSystem onVacuum SputteringPlatingMachinewith ProgrammableLogicControiler LIUJm一吐li，HAO Chang—sheng，LIUXi一乜Ii (MechanicalEngineeringCollege，ShijiazhuangRailwayInstitute，Shijiazhuang050043，China) Abstract：Thetechnologyandequipmentofthevacuum sputteringcoatinghavehteextremelybroadapplication nadhtedevelopmentin thefuture．Becausehteplatingmachinewiht therelay—contactcontrolsystem has somedefects，hteplatingmachinewith programmable logiccontrollerisdesigned，severalyearspractice pmves．Theefficiencyofhteplatingmachinehtatisinnovatedimprovesgreatly，naditsmaintennacepmbabili- tydecreasesgreatly．Italsoprovidesreferenceforsimilarsystem． Keywords：relay～contactcontml；PLCcontml；vacunnlsputteringplatingmachine 0 引言 镀膜工艺在各行各业 中得到广泛应用，并且在 4 几个问题的处理 计，抗干扰能力强，工作可靠性高，集中或分散布置 在本装置的设计过程中曾遇到以下几个问题， 可灵活掌握。该装置在工农业生产的供用电系统中 并合理进行了解决： 具有广阔的应用前景。 (1)对泓格 I一7000系列模块进行设置时，必须 参考文献： 先将 INIT*和GND短接后再上电，对模块地址、波 [1]组态王 I／O驱动帮助[c]．北京亚控科技发展有限公司，2004． 特率、采集数据形式和通讯端 口等进行设置，然后关 [2]匡晓艳，姚晓红．牛顿 7000模块在对流换热系数 自动测试中的应 用[j]．四川工业学院学报．2003(1)：62—63． 掉电源，断开 IN兀’