1k级洁净室空调系统的调试分析 Commissioning of Air-Conditioning System in a Class 1K Clean Room.pdfVIP

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2017-08-02 发布于上海
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1k级洁净室空调系统的调试分析 Commissioning of Air-Conditioning System in a Class 1K Clean Room

2009年3月洁净s空调技术cc＆AC 第l期 1k级洁净室空调系统的调试分析水广东机电职业技术学院童蕾南海奇美电子有限公司李伟强南方医科大学陈超敏摘要介绍IK级洁净室空调系统特点，并就通过空调系统调试，维持洁净室内的温度、湿度．洁净度及正压环境策略和实践进行讨论分析。关键词洁净空调系统；温度-湿度。压力 in 1KCle1Room of aClass CommissioningAir-ConditioningSystem Lei，Li andChenChaomin Tong Weiqiang in theschemeand AbstractRecommendscharacteristicsofclean aClass1Kcleanroom．Discuss air-conditioningsystem of room and condition—giventemperature；humiditypressure． pracdcemaintaining clean system；Temperature；Humidity；Pressure Keywordsair-conditioning 在电子行业中晶圆厂与半导体厂对生产环境要 1999年国际标准化技术协会公告发行ISO厂rC 求最为严格，生产环境的温度、湿度、洁净度直接 209国际通用标准，将洁净室分成9个等级，级别影响产品的质量和寿命，都要求控制在特定的范围分类见表l。采用SI制单位，lk级即英制中的1000 1 级，室内环境中1ft3、0．5m的微伞颗粒不超过内。在LCD(LiquidCrystalDisplay)液晶显示 ’ · 器的制程中要求生产环境洁净度达到1k级，温度 1000颗。，．控制在23℃±2C，湿度控制在55％±5％，根据表1洁净级别这个要求对某LCD液晶面板制程车间(工业洁净 ISO／ Fed．Std．209E 微小粒限制 TC209 0．1啪室)进行完工调试。