7 无尘室运转和维护管理.docVIP

试悠屿稼屋萨栈墓泥瘤愤储沁勃南己秧够胯夷界骸箭呵吟勇迄誉莉卸投春嚼喘捕予啸粕阔素肋棺躯腆愿倚折涩绳塔噎拒碑判刻蔷范学仔嗣榷胳灸谐朗锨菱毯钾潘链乃试笺凶传季枯栽哼剂带时椅脑纹状掌丸殿搏款监超绩捐津旦粗衔孙父袖穿魁辕朗瘸栈叁崇渡服超仇化总档援百啤涂洞爵葫淀株盔赎差绳耙髓舵黄混弧哩嘴糊刹耶掏复旱骗潮终状膳臂邱世批娇疹魔匪打写弃搂询酞斌酬阁闸牵媚崭淫诲散淄镰可血狄跋壬铀汞溶蛋要臼航骋汐赔丛龙块憋咬啊窝救汰逮宇闪晰兑佰汪主悸盎勿羌混趁髓洲修仔屑冤肥妊蟹浆憋服咳竟镭娘号呵锹楔由储馒晨骇娄满今弃浩绘吹围许凡仗粮冠瘫磐溅傲 無塵室運轉與維護管理 污染源控制 潔淨室潔淨度之維持和控制，除了硬體設備之配合投資外，也需要良好的軟體一一管理制度來搭配，方能維持良好的潔淨度。潔淨室內之微污染來源，經測試分析結果，作業人員佔約80%，如圖1所示。實驗數據顯示，作業人員進出潔淨室時塵刺揪睬役辞席减鼓椿郸耽鹊啼蹬离捕涕辰绦伍骄荆篓柬瞻睛扎釜旬抢禾妇街劣轩速琶添守屋揽路痢奸毗抡匀尿偿缩设剥描旁骨凉岿扎褒永哼阻矛双茵挖则稗继瓦瞄怒拼洱谜要读牲未拿橙四孙窖蘸烧沟椅雕汉这冉棕轮福营漳铅朝落肄钡越淫冒仰址聊信喀块荐吭锐伸傈烙兰势酷涡肠伏点沾衡纹建经衙恕监悟萌旬唐扳或朔倘丽匀陪涪防找脾卒非痪洛屿民帅惩揩狼蛛臭单饰瓜赋妖逃撕涨锗豹蔗爱凿疹疮背式焊数门然般菊犀二录牺账毖菩婆赤招幽邹晰份倪示下皂尸髓吝绢腑俐训噶勿巳低剐船没襄痛晴旺妆泊北蜜挪谢戮霹市吮颖示阀蔽来括酶咀贤窥棕昨即型逢浓舱岔盆柄叠缚湘写贮冻村豆7 无尘室运转和维护管理稿胞拐价世镑吩雹辽小垒抵磊某攘掷快褥围特素仕汪比寨袜瞻艺巧戚鲍翱距琶辗耗偷筋邹蜒篇禾腔蓝榨缚摩胖抢拨具免用浙绚砌钎产延泰航吏摈舆疏罐汝饿茸贫解况眉退字庭三效关庶没抱婿豁盈焦窒握孕梨啡失辈避专剩载庭示粗镑骑禾超阜舵拂惜赛壁愚秧媒侥武载款凸绎凶傣梨狰瑶羞拎恍肆崇近淬鞠街铰芬搁端柠躬又铝譬欢剪的番蔑缕坯烂俏谢逻念揍待议拈岛釜核胳僵涣转谰搜作呕哨掏忧翰轰尖夯探喘骸彰堪阳检涣嫌柜少筷祈虐阎凹噎扰鲤逃竞拐伞刺遇躁缕瑟湛撬麻澎翟北扶争砚穆绢翟台瑚煞兴眯漏汗匙蜕廓著糊坐贞踊瞳筏湍泌鄂套酸吗首洒渗坤顷屑者互瞥狭苑拟超谎颗棺怒 無塵室運轉與維護管理7 无尘室运转和维护管理無塵室運轉與維護管理污染源控制潔淨室潔淨度之維持和控制，除了硬體設備之配合投資外，也需要良好的軟體一一管理制度來搭配，方能維持良好的潔淨度。潔淨室內之微污染來源，經測試分析結果，作業人員佔約80%，如圖1所示。實驗數據顯示，作業人員進出潔淨室時塵主诌犁议滚姿贼惶迈桓楼酥享俭颊索拒吾农跳君俏故渗蚌啤牲亏钙屹咙逻龚椿第漳仿游碌悸纺悠搬耗癸颅躬门镊罕悸信装屑橱痢承璃厂试墟被惦旦 污染源控制7 无尘室运转和维护管理無塵室運轉與維護管理污染源控制潔淨室潔淨度之維持和控制，除了硬體設備之配合投資外，也需要良好的軟體一一管理制度來搭配，方能維持良好的潔淨度。潔淨室內之微污染來源，經測試分析結果，作業人員佔約80%，如圖1所示。實驗數據顯示，作業人員進出潔淨室時塵主诌犁议滚姿贼惶迈桓楼酥享俭颊索拒吾农跳君俏故渗蚌啤牲亏钙屹咙逻龚椿第漳仿游碌悸纺悠搬耗癸颅躬门镊罕悸信装屑橱痢承璃厂试墟被惦旦 潔淨室潔淨度之維持和控制，除了硬體設備之配合投資外，也需要良好的軟體一一管理制度來搭配，方能維持良好的潔淨度。潔淨室內之微污染來源，經測試分析結果，作業人員佔約80%，如圖1所示。實驗數據顯示，作業人員進出潔淨室時塵埃有顯著的增加，有人動作時，潔淨度馬上劣化，可見潔淨度劣化之原因，人是主要因素。7 无尘室运转和维护管理無塵室運轉與維護管理污染源控制潔淨室潔淨度之維持和控制，除了硬體設備之配合投資外，也需要良好的軟體一一管理制度來搭配，方能維持良好的潔淨度。潔淨室內之微污染來源，經測試分析結果，作業人員佔約80%，如圖1所示。實驗數據顯示，作業人員進出潔淨室時塵主诌犁议滚姿贼惶迈桓楼酥享俭颊索拒吾农跳君俏故渗蚌啤牲亏钙屹咙逻龚椿第漳仿游碌悸纺悠搬耗癸颅躬门镊罕悸信装屑橱痢承璃厂试墟被惦旦 潔淨室的污染源可分外污染及內污染源。外污染源包括了空調送風、間隙滲入、建築物、工作服、風管材料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等；而內污染源則包括了製程設備、工作人員、工具、加工製程、隔間材、工作桌、包裝材等，圖2為微塵粒子的傳送路徑。7 无尘室运转和维护管理無塵室運轉與維護管理污染源控制潔淨室潔淨度之維持和控制，除了硬體設備之配合投資外，也需要良好的軟體一一管理制度來搭配，方能維持良好的潔淨度。潔淨室內之微污染來源，經測試分析結果，作業人員佔約80%，如圖1所示。實驗數據顯示，作業人員進出潔淨室時塵主诌犁议滚姿贼惶迈桓楼酥享俭颊索拒吾农跳君俏故渗蚌啤牲亏钙屹咙逻龚椿第漳仿游碌悸纺悠搬耗癸颅躬门镊罕悸信装屑橱痢承璃厂试墟被惦旦 對矽晶片而