分数槽集中绕组无铁心永磁直线同步电机推力分析 Thrust analysis of air-core permanent magnet linear synchronous motors with fractional slot concentrated windings.pdfVIP

分数槽集中绕组无铁心永磁直线同步电机推力分析 Thrust analysis of air-core permanent magnet linear synchronous motors with fractional slot concentrated windings.pdf

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第17卷第8期 电 机 与 控 制 学 报 、厂01.17N0.8 2013年8月 Electric MachinesandControl Aug.2013 分数槽集中绕组无铁心永磁直线同步电机推力分析 唐勇斌,李立毅,刘家曦,潘东华 (哈尔滨工业大学电气SE程及自动化学院,黑龙江哈尔滨150001) 摘要:为实现应用于步进扫描投影光刻机中长行程直线电机的高推力密度、低推力波动等要 求,研究叠放和非叠放两种分数槽集中绕组的无铁心永磁直线同步电机推力特性,在建立空载气 隙磁场分析模型的基础上,推导叠放和非叠放两种绕组形式的电机空载感应电动势、电磁推力和 推力密度的解析式,分析永磁体和初级绕组的结构尺寸对电磁推力的影响规律。通过实例分析, 比较推力的解析法计算结果、有限元法仿真结果和实验测试值,证明解析法的合理性。同时,分 析比较不同极槽比组合的叠放和非叠放分数槽集中绕组的电机电磁推力和推力密度的大小。结 果表明:少极多槽极槽比的叠放分数槽集中绕组形式电机产生的电磁推力与推力密度更九 关键词:光刻机;无铁心直线电机;分数槽集中绕组;电磁推力;极槽比 359.4 中图分类号:TM 文献标志码:A 文章编号:1007-449X(2013)08--0001--08 - o ,n● ● -o●● J ·■■ 。l。nrUSt otaIrLC0re nnear analysis De珊anentmagnetsynchronous motors耐thfractionalslotconcentrated windings TANG Jia-xi,PAN Yong—bin,LILi-yi,LIU Dong-hua ofElectrical and Instituteof Automation,Harbin 150001,China) (School Engineering Technology,Harbin ordertoachievethrust andlowthrust of strokelinearmotors Abstract:In high density rippielong ap- to andSCan characteristicofair-core linear step projectionlithography,thrust permanentmagnet plied slotconcentratedwere motorswith and factional windings synchronous overlappingnon—overlapping ofno-loadin- researched.Basedontheno—load f

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