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青岛金瑞源微电子设备有限公司 ***** 电子有限公司电子有限公司三管扩散炉三管扩散炉技术方案技术方案 电子有限公司电子有限公司三管扩散炉三管扩散炉技术方案技术方案 一.一. 三管三管扩散炉主要参数扩散炉主要参数：： 一一.. 三管三管扩散炉主要参数扩散炉主要参数：： 11．．应用领域应用领域： ： 11．．应用领域应用领域：： ﹣主要适合于3 英寸 （兼容4 英寸工艺）硅片的硼扩散、磷扩散、一次氧 化、干氧氧化、基区扩散氧化、合金、退火等工艺。 22．．加热系统加热系统： ： 22．．加热系统加热系统：： ﹣有效管内径：170mm～350mm； ﹣工作温度：200℃～1300℃ ﹣炉体恒温区：500mm～1000mm±0.5℃ ﹣控温精度：＞800℃/±0.5℃ ＜800℃/±1℃ ﹣单点温度稳定性：600℃～1280℃ ±0.5℃/24h ﹣升、降温可控：最大升温速率≥15 ℃/min，最大降温速率 5 ℃ /min。 ﹣最大升温功率：22KW/管 ﹣保温功率： 8KW/管 3 ．设备工作环境．设备工作环境：： ．．设备工作环境设备工作环境：： ﹣工作电压：220V ±10%； ﹣抗风压：120km/h； ﹣环境温度：-10℃~60 ℃； ﹣空气相对湿度：≤90% ； 青岛金瑞源微电子设备有限公司 1 地址：青岛市李沧区九水东路262 号 电话：0532 传真：0532 网址： E-mail: jin@ 青岛金瑞源微电子设备有限公司 二．二 ．扩散炉扩散炉主体主体 ：： 二二 ．．扩散炉扩散炉主体主体 ：： 扩散炉主体 由以下几部分组成： 1．1．排风散热系统排风散热系统 ： ： 11．．排风散热系统排风散热系统 ：： ﹣位于主机顶部，由若干排风扇组成 ，炉门及腔外壁温度控制在 ≤70 ℃范围内。 2．2．加热炉体加热炉体 ： ： 22．．加热炉体加热炉体 ：： ﹣扩散炉主机中部是三只处理 150mm 硅片的加热炉体； ﹣采用铁铬铝合金电阻丝； ﹣保温棉采用高温含锆陶瓷纤维毯； ﹣外壳采用 SUS202不锈钢； ﹣炉丝寿命：我司保用期为一年。 3．3．排毒柜排毒柜： ： 33．．排毒柜排毒柜：： ﹣装在靠近工作台侧的主机箱内，与炉体对应，不锈钢材质，独立的箱体 和排风道。 4．4．工作台工作台： ： 44．．工作台工作台：： ﹣为工作人员提供，不锈钢材质，工作台面大小可据客户要求定制。 5．5．推拉舟推拉舟： ： 55．．推拉舟推拉舟：：