UV激光器减反射膜的研制.pdfVIP

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2017-08-02 发布于上海
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UV激光器减反射膜的研制.pdf

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摘要为了提高全固态紫外激光器的使用寿命和效率，降低其各光学元件的表面反射光学损耗，提高转换率，增强紫外倍频光的输出功率，在光学元件表面镀制高透过率的减反射膜，是解决问题的重要方法。本文简要介绍了紫外减反射膜的应用，具体针对工作波段在240m～280m高透的减反射膜进行了制备和研究。运用 T麟700．2型箱式真空镀膜机，采用电子束加以离子辅助沉积系统来镀制薄膜，通过对工艺参数的调整，提高抗激光损伤阈值，减小薄膜吸收，使其满足短波激光薄膜的工作要求。依据薄膜光学的理论基础，利用膜系设计软件TFC设计并优化得到最终的膜系，选择适用于紫外波段的薄膜材料进行对比分析，在JGSl基底上，线，测试其平均透过率达到99．5％以上。利用连续激光测试仪测试其抗激光损伤阂值为10J／cm2。关键词：光学薄膜离子辅助沉积激光损伤阈值紫外激光器 ABSTRACT ofsolid．stateUV In theservicelifeaIld lasers，reduce ordertoimprove e伍ciency thesurf．aceofthe lossesduetorenectionofits optical optical out ofUV rate conversion llight}lrough rate，enhanceputpo、ver h锄onic，coateding antireflectivefilmin surfaceisthesolutiontothe of opticalcomponents problem the ofultraVioleta11tirenectiVe method．Thisanicleintroduces impoIrtallt application filmin and theantirenectiVe reacllinghight11rough working film，specificallymal(ing ofshortwaVelaSer 240m～280m．For the film，use balld contentingjobrequiremem 2 vacuum electronbeamtoion macllines，use auxma巧 TXX700．typeboxtype coating tocoated resistallceto sedimentarysystem film，a由usttectlllologicalpar锄eter，improVe 1aser tothetheoretical