散斑干涉条纹测量系统设计-光学仪器.PDF

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第 卷 第 期 光 学 仪 器 年 月 文章编号 散斑干涉条纹测量系统设计 盛 伟李季平陈加林王辰熙 南京航空航天大学 理学院江苏 南京 摘要为了测量散斑干涉条纹从而计算出被测物体的微位移提出了一种基于 芯片 的解决方案运用单片机驱动步进电机精准控制光敏传感器的移动利用传感器判定暗条纹 中心结合软件进行实时处理获得再现干涉条纹间距实验结果表明该设计方案对散斑位移 的测量精度可达 关键词微位移测量相干光学单片微型计算机步进电机光敏传感器 中图分类号 文献标识码

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