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EVG2010新品展示及市场预计
EV Sales PaulKettner
Director,Asia/Pacific
GroupRegional
机的潜势,希望抓住一切机会保持在中国市场的上
升势头。
EVG是以其市场领先的晶圆光刻和键合系统
及Uv镜头成型设备成为晶圆级CMOS图像传感
器和微光学元件生产技术的先驱公司。最近在中国
安装的设备进一步巩固了我们在这一技术领域的
旗舰地位。与此技术密切相关的是我们的超薄晶圆
处理和临时键合和解键合(TB/DB)的解决方案。
EVG公司开发的这种技术,早在2001年就成为采
用硅通:YL(TSVs)3维集成的关键。我们的临时键合
/解键合系统能够减薄和处理超薄晶圆,以确保在
尽管2009年全球经济依旧衰退,但也有一定以后的晶圆加工步骤中结构和边缘的完整性。EVG
技术亮点支撑着产业。现实证明2009年EVG公司
提供了从手动到全自动模式200毫米和300毫米
又是一个增长的年份。我们目睹了由于对批量制造 设备,以解决研发到大批量制造需求。
的例如CMOS图像传感器封装和晶圆级光学元件 EVG早在这些高增长市场的几年之前便开
生产市场需求,来自研究机构和著名大学订单需求 始评测其技术解决方案。我们业已,并将继续实
的增加,3D/TSV一相关设备的订单额日益增加。尽行公司的三”il.体系,发明、创新、落实到设备,
管业内专家对市场的复苏预期不尽相同,EVG公 这使我们能够及时开发出键合,光刻,对准和测
司对此持谨慎乐观态度,因为2010年是半导体技量系统来满足市场的需要。这种技术方法对于
术领域,我们期望在市场有显着增长的机遇中作出 EVG公司的市场变化,经济的稳定发展具有至
贡献。除了半导体领域,还有其他新出现的领域应 为关键的影响。
重点关注,包括在MEMS许多纵向市场(例如,微 在2010年的SEMICONChina展会上,EVG
机电系统和汽车应用),光伏和高亮度发光二极管 集团将展示其最新推出的纳米压印解决方案.
领域。 EVG770以及我们用于三维IC集成和超薄晶圆
中国正在成为EVG公司半导体及相关产业日 加工的键合和对准技术解决方案。EVG770作为
益重要的市场,在SEMICON
China的展出对于首次基于紫外光的纳米压印分步重复光刻系统,
EVG公司建立一个强大的客户网络和本地化企业 是专用于微光学器件(例如CMOS图像传感器和
是至关重要的。在过去的SEMICONChina展出中,圆片级照相机的微透镜)制作的图形曝光设备。该
我们已经看到EVG打开了新的商机.其中有些机 系统增强了单步工艺,并能够为专业的镜头制造
遇已使我们能够进入了新的市场,今年我们仍期待 者增添纳米压印图形直至之后的晶圆级微透镜制
同样又有新的机遇。由于SEMICO
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