3D MCM组件产品热分析技术研究 The Study for Heat Analysis Technology of Stacked Three-Dimension Multi-Chip Module.pdfVIP

3D MCM组件产品热分析技术研究 The Study for Heat Analysis Technology of Stacked Three-Dimension Multi-Chip Module.pdf

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第10卷。第1期 电子与封装 总第81期 V01.10,No.1 2010年1月 ELECTRONICSPACKAGING 3D MCM组件产品热分析技术研究 徐英伟 (中国电子科技集团公司第四十七研究所,沈阳110032) MCM·ThreeDimension 摘要:三维多芯片组件(3D Module)是近几年正在发展的一种 Multi-Chip 屯子封装技术。在3DMCM封装中,随着芯片封装密度的增加,对其热分析与热设计技术就显得 越来越重要了。文章利用有限元方法,通过Ansys软件工具对某静态存储器组件(3DMCM模块) MCM的 内部温度场进行了模拟仿真,并与实验数据进行了对比,获得了很好的分析效果,为3D 可靠性设计提供了技术支持。 关键词:微电子封装;三维多芯片组件;热分析;有限元 中图分类号:TN305.94文献标识码:A The forHeat ofStackedThree-Dimension Study AnalysisTechnology Module Multi-Chip XUYmg-wei 47睹ResearchInstitute Electronics 1 (The Technology 10032,China) ofChina GroupCorporation,Shenyang an Abstract:111e ofthree-dimensionmoduleis direction technology multi—chip importantdeveloping packaging inmicro·electronic inthefuture.Withthe ofdie density packagingtechnology developingpackage increasing. theheat andheat for3DMCM becomesmoreandmore analysis controllingtechnology package important.In this fieldofoneSRAM software article,thermal component(stackedpackaging)isanalyzed by usingAnsys finiteelemem

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