3D MCM组件产品热分析技术研究 The Study for Heat Analysis Technology of Stacked Three-Dimension Multi-Chip Module.pdfVIP
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第10卷。第1期 电子与封装 总第81期
V01.10,No.1 2010年1月
ELECTRONICSPACKAGING
3D
MCM组件产品热分析技术研究
徐英伟
(中国电子科技集团公司第四十七研究所,沈阳110032)
MCM·ThreeDimension
摘要:三维多芯片组件(3D Module)是近几年正在发展的一种
Multi-Chip
屯子封装技术。在3DMCM封装中,随着芯片封装密度的增加,对其热分析与热设计技术就显得
越来越重要了。文章利用有限元方法,通过Ansys软件工具对某静态存储器组件(3DMCM模块)
MCM的
内部温度场进行了模拟仿真,并与实验数据进行了对比,获得了很好的分析效果,为3D
可靠性设计提供了技术支持。
关键词:微电子封装;三维多芯片组件;热分析;有限元
中图分类号:TN305.94文献标识码:A
The forHeat ofStackedThree-Dimension
Study AnalysisTechnology
Module
Multi-Chip
XUYmg-wei
47睹ResearchInstitute Electronics 1
(The Technology 10032,China)
ofChina GroupCorporation,Shenyang
an
Abstract:111e ofthree-dimensionmoduleis direction
technology multi—chip importantdeveloping
packaging
inmicro·electronic inthefuture.Withthe ofdie density
packagingtechnology developingpackage increasing.
theheat andheat for3DMCM becomesmoreandmore
analysis controllingtechnology package important.In
this fieldofoneSRAM software
article,thermal component(stackedpackaging)isanalyzed by
usingAnsys
finiteelemem
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