干泵密封件更换（EC-II）.PDFVIP

干泵密封件更换(EC-II) 1、设定系统到300K ，等温度稳定后退激活前次测量的选件并取出样品腔内的部 件，密封好样品腔，在Purge/seal 后shutdown 系统。 2、MultiVu 菜单栏点击InstrumentEvercool II，弹出Evercool System 窗口，将 当前状态设成排气状态(Exhausting，浮球流量计有示数)。 3、将抽环腔的粗金属软管拔松（seated，如Figure 2）。拔出时要注意，应抓住 滚纹部分用力向后拔，否则不能拔出。 4 、关掉干泵电源，断开干泵的气路出口 （VCO 接口）和入口 （KF25 法兰），再 将干泵从机柜中拖出来。 对于SH110 型干泵：用扳手拧下干泵出口的转接头；拧下侧盖的3 根内六角螺 钉；断开干泵风扇电源线；拧下散热片上的4 根内六角螺钉；拧下散热片正中间 小圆盖板的4 根内六角螺钉，拔出蓝色的塞子（以下第5 幅图，蓝色塞子下面是 弹簧），于是干泵内气压与大气压平衡，这时可把整个散热片和泵的主体分开。 注意：干泵出气口VCO 接头上的O 圈不能弄丢 ！！ 5、打开后，就能见到螺旋密封件。 6、取出旧密封件，用棉花蘸无水酒精清洁干泵内部；更换新密封件。 7、侧盖与泵体间有个大O 圈，可清洁后抹些许M-Grease，或对其进行更换。可 以将干泵立起再换上大O 圈并盖上侧盖，小心操作防止O 圈脱落。大O 圈第一 次上好之后，最好拉伸局部再释放，绕行一周以使其内部弹力分布均匀，防止上 侧盖的时候脱落而不知道。 8、将干泵装回原位，将环腔的软管半插入样品腔后侧的接头中，保持自密封但 不接通 （seated，参考步骤2 中Figure2 ），打开干泵电源 （确认系统仍处于排气 状态）。将系统温度设定到10K （不是真要降到10K，只是完全打开比率阀），目 的是将管道里的空气排出，防止流阻堵塞。等待几分钟后外接的浮球流量计的示 数应该降至零，否则干泵大 O 圈可能未装好。如果出现这种情况，请参考前面 的步骤拆开干泵，检查大O 圈是否在位、是否有压痕。 这一步非常重要！！！如果大O 圈未装好导致大量空气进入系统的话，可能会造成 Probe 底部的流阻堵塞。 9、粗金属软管完全插入，此状态下外置浮球流量计的示数应该在10 分钟内超过 2L/min 。保持排气状态半小时，再设回循环状态。 顺利完成以上操作则更换密封件成功，系统可以正常使用！